中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9188759 を販売中
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販売された
ID: 9188759
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
PVD System, 8"
Narrow body load locks
PCII: Pre-clean
Wide body chamber: G12 source, B101 heater
Wide body chamber: G12 source, E-chuck
HEWLETT-PACKARD Robots buffer / Transfer
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber A: PT
Chamber B: CD
Chamber 2: WB With shutter
Chamber 3: WB
1997 vintage.
AKT (AMAT) AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、材料蒸着およびエッチング用途向けに設計された統合型半導体炉です。高度な成膜とエッチング加工において、優れたスループット、精度、および制御を提供するという長い実績を持って設計されています。AKT Endura 5500は、プラズマチャンバーを大型化することで半導体加工を向上させ、原料ガス量の拡大、プロセスおよび補助ガス源の高精度温度制御、および最先端のソフトウェア機能を実現します。この原子炉は幅広いプロセスをサポートすることができ、顧客は薄膜および高密度相互接続(HDI)製造の効率とスケーラビリティを高めることができます。AMAT ENDURA 5500は、複数の成膜およびエッチングプロセスをサポートするモジュラープラットフォームです。広さ5mの大型アークチャンバー、複数のソースにわたって一貫した性能を保証するガス噴射システム、歩留まりの向上とプロセス再現性の向上のための高精度ガス流量管理ユニットなど、多くの利点を提供する高生産性の装置です。さらに、このマシンは、顧客の要件を満たすために完全にカスタマイズ可能である統合された持ち上げチャンバーと補助部品を備えています。APPLIED MATERIALS Endura 5500は、統合されたHMAアライメントツールを備えており、コンポーネントを迅速かつ正確に検出できます。HMAは基板の均一性を確保しやすく、ウェーハの配置とアライメントの精度を保証します。さらに、APPLIED MATERIALS ENDURA 5500には高度なモーションコントロール機能が搭載されており、正確なアライメントと均一性を確保しながら、複数のレイヤーを迅速に製造できます。AKT ENDURA 5500は、半導体業界において、お客様が最高レベルの成膜およびエッチング処理性能を達成できるよう、信頼性が高くダイナミックで実績のある資産です。このモデルのモジュラー設計により、お客様のニーズに合わせてカスタマイズできる完全にカスタマイズ可能なハードウェア機能を提供し、特定のプロセス要件を満たします。高度な技術により、Endura 5500は最高レベルの精度を提供し、スループットとプロセスの再現性を向上させます。柔軟性、制御性、品質を追求する最新の半導体製造センターに最適です。
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