中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9186543 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体産業における先進的な誘電エッチング用に特別に設計されたフルウェーハプロセスリアクターです。この反応ツールは、クラス最高のエッチングの均一性と、圧力、温度、流量の高度な制御を提供します。高い生産性と優れたプロセス制御により、高アスペクト比の誘電特性を作成するのに最適です。AKT Endura 5500は優れたビーム生成と組み合わせた優れた性能を提供します。25〜200°Cのプロセスに関連する温度、0〜600 VDCのバイアス電圧、0。2〜1。0 torrの調整可能な圧力範囲で動作します。反応チャンバは、安定性の向上とプロセスの柔軟性の向上をもたらす高度なマルチチャンバー設計を利用しています。このシステムは、高性能のマルチカソード設計を備えており、高度な誘電エッチングのための優れた電力供給を提供します。この原子炉は高度な自動パラメーター制御を提供しているため、温度、圧力、流量、電圧などのプロセスパラメータを簡単に監視、制御、および調整できます。これにより、プロセスが最適に調整され、一貫性のある再現性のある結果を監視できるようになります。また、高度なフィードバック補償も含まれており、リアルタイムのパルス幅変調パワー制御により、パフォーマンスと精度を向上させます。AMAT ENDURA 5500には、高アスペクト比の機能をエッチングするためのアップグレードされた窒素冷却ライナーが装備されており、粒子抵抗、プロセスおよびプラズマを汚染から保護するために最適化されています。統合されたライナーシールドにより、生産の一貫性と効率が向上します。また、高圧エアブラストとプラズマ生成を組み合わせた高度なエアブロバック洗浄システムを備えており、プロセスシステムを徹底的に洗浄しています。この原子炉には、高度なユーザーフレンドリーなソフトウェアも含まれています。高性能モデリングを使用して、ソフトウェアは、ほぼすべてのプロセスアプリケーションのための最も効率的なプロセスパラメータを決定することができます。これは、可変性を低減し、最適なパフォーマンスを得るためのプロセスを最適化するのに役立ちます。結論として、AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、先進的な誘電エッチング用に特別に設計された、最高級のフルウェーハプロセスリアクターの1つです。高い生産性と優れたプロセス制御により、高アスペクト比の誘電特性を作成するのに最適です。この原子炉には、ユーザーが迅速で信頼できる結果を得るためのさまざまな高度な機能が含まれています。