中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9177283 を販売中
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ID: 9177283
ウェーハサイズ: 8"
System, 8"
Wafer shape: SNNF
Chamber 1: SIP Cu
Process 1: Low temperature Cu
Chamber 2: Wide body
Process 2: TTN
Chamber 3: Wide body
Process 3: TTN
Chamber 4: SIP Cu
Process 4: Low temperature Cu
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cooldown
Chamber E: Orient / Degas
Chamber F: Orient / Degas
Transfer robot type: HEWLETT-PACKARD
Transfer robot blade: Metal
Buffer robot type: HEWLETT-PACKARD
Buffer robot blade: Metal
Loadlock type: Narrow BD with tilt out
Signal tower: 4 Color R/G/Y/B
MF Facilities: Bottom
System umbilical: 25 ft
EMIs: Turn to release
No facility power (UPS)
No loadlock pump
Loadlock slit valve O-Ring: Viton (Black)
Heat exchanger 1: NESLAB
Heat exchanger 2: M-Pack
Hard drive: SCSI
(2) CRTs
No GEM
No OTF
Main AC box: 480 V type, wide type
Chamber A:
Chamber type: Pass through
Gas valves: Fujakin
Slit valve o-ring: Viton (Black)
Clear chamber lid
Chamber B:
Chamber type: Cooldown
Gas valves: Fujakin
Slit valve o-ring: Viton (Black)
Heater / Cathode cooling: PCW
Clear chamber lid
Chamber 1:
Chamber type: SIP Cu
Manometer config: Single
Manometer 1: 100 mTorr
Slit valve o-ring: Viton (Black)
Shutter option
Chamber process: Low temperature Cu
Lid type: SIP Source
RF Gen / DC Supply 1: ADVANCED ENERGY MDX-L6
Susceptor / Pedestal: Low temperature ESC
Wall cooling: PCW
Heater / Cathode cooling: M-Pack
Gate valve position: 3-Pos
Process kit type: SIP
Chamber pump: Enhanced 3 phase cryo
Magnet number: 0010-21676
Gas 1:
MFC Size: N2 100 Sccm
Gas name: AR
MFC Type: STEC 7440
MFC Number: MFC16
Gas stick configuration: Single
Chamber 2:
Chamber type: Wide body
Manometer config: Single
Manometer 1: 100 mTorr
Slit valve O-Ring: Viton (black)
Shutter option
Chamber process: TTN
Lit type: G12
RF Gen / DC Supply 1: ADVANCED ENERGY MDX-650 HiZ
Susceptor / Pedestal: A101
Heater / Cathode cooling: PCW
Gate valve position: 3-Pos
Process kit type: A101
Chamber pump: Enhanced 3 phase cryo
Magnet number: 0010-21844
Chamber 3:
Chamber type: Wide body
Manometer config: Single
Manometer 1: 100 mTorr
Slit valve o-ring: Viton (black)
Shutter option
Chamber process: TTN
Lit type: G12
RF Gen / DC Supply 1: ADVANCED ENERGY MDX-650 HiZ
Susceptor / Pedestal: A101
Heater / Cathode cooling: PCW
Gate valve position: 3-Pos
Process kit type: A101
Chamber pump: Enhanced 3 phase cryo
Magnet number: 0010-21844
Chamber 4:
Chamber type: SIP Cu
Manometer config: Single
Manometer 1: 100 mTorr
Slit valve o-ring: Viton (black)
Shutter option
Chamber process: Low temperature Cu
Lit type: G12
RF Gen / DC Supply 1: ADVANCED ENERGY MDX-L6
Susceptor / Pedestal: Low temperature ESC
Heater / Cathode cooling: NESLAB III
Process kit type: SIP
Chamber pump: Enhanced 3 phase cryo
Magnet number: 0010-21676
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5 wire, 400 A.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、高度なエッチング用途向けに設計された原子炉装置です。このツールは、エッチングとクリーンプロセスの両方を同時に操作できるツインプロセスチャンバー設計を備え、非常に高いスループットに到達することができます。AKT Endura 5500は大きなプロセスウィンドウを持ち、低温エッチングとクリーンな2。6-umデバイスをサポートできます。AMAT ENDURA 5500には、高い選択性エッチングのための特許出願中のDCパルスプラズマ源と、特定のフィルムのエッチング率を高める大面積プラズマが搭載されています。このシステムは、基板全体にわたって高いエッチング均一性を備え、ウェーハ全体で2％を超える反復可能なエッチング速度の均一性を実現します。APPLIED MATERIALTS Endura 5500は、基板温度、エッチング速度、エッチング均一性などのパラメータのリアルタイムのレシピと監視を可能にする堅牢なプロセスコントロールユニットを備えています。このリアクタマシンはまた、統合クラスタツールを備えており、ノンストップのエンドツーエンド処理のためのクラスタソリューションを提供します。Endura 5500は、カセットからカセット、基板からカセット、ダイレクトカセットからカセットまで、幅広いフレキシブル基板搬送スペースを備えています。また、Advanced Process Control Module （APCM）を搭載しており、ユーザーはプロセスレシピを正確に監視、分析、修正できます。AMAT Endura 5500は、オンボードモニタリングと制御資産を備えており、要求の厳しいプロセスにおいて信頼性が高く安定したプラットフォームです。この制御モデルは、PID制御とフィードバック偏差監視を備えています。PID制御により、正確で再現性の高いプロセス安定性を実現し、フィードバック偏差モニタリングにより、プロセスが事前に定義された範囲で実行されることを保証します。また、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は200点以上の診断機能を備えた低メンテナンス設計です。これには、統合された予防保守装置、高度なプロセス診断、およびリモート監視機能が含まれます。これにより、ユーザーは問題をすばやく特定して解決できるため、ダウンタイムを短縮できます。全体として、AKT ENDURA 5500はエッチング用途向けに設計された先進的な原子炉システムです。ツインプロセスチャンバー設計、DCパルスプラズマソース、レシピ調整用コントロールユニット、高度なクラスタマシン、低メンテナンス設計を備えています。APPLIED MATERIALIES ENDURA 5500は高効率で信頼性に優れ、最先端のエッチング加工に最適です。
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