中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9142611 を販売中
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ID: 9142611
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1992
Sputtering system, 6"
Process: PVD
(3) Chambers
Load lock type: Wide
1992 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体デバイス製造ラボ環境で使用するために設計された高度な化学蒸着(CVD)加工ツールです。この600mm工具は熱壁CVD法を利用しており、反応性ガスをプロセスチャンバに導入して相互作用し、基材上に望ましい製品層を形成します。AKT Endura 5500リアクターは、研究者がニーズに合わせて機器をカスタマイズできるモジュール設計を提供しています。この原子炉は、中央基板ホルダーの周りに構築された4チャンバー設計で動作し、研究者は単一の基板上に1サイクルで複数の膜を生成することができます。AMAT ENDURA 5500は、高効率で最適化された暖房システムで優れた制御レベルを提供し、最大1100°Cの温度を実現します。また、基材の均一なカバレッジを確保するために蒸気の正確で反復可能な流量を達成するのに役立つ高度なフロー制御を備えています。さらに、このツールの高度な温度制御ユニットは、プロセスチャンバー内の温度分布を均一にするのに役立ちます。これは、高品質のフィルム層を作成するために不可欠である基板全体で一貫した温度の均一性を維持するのに役立ちます。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500は、蒸着用途に使用すると、複数のフィルム層を一度に生成することができ、ラボのスループットを大幅に向上させます。強力な監視制御機のおかげで、プロセス条件を監視するのも簡単で、APPLIED MATERIALTS Endura 5500は手動操作と自動操作の両方に適しています。さらに、このツールは非常に柔軟性があり、誘電体、金属エッチング、および統合された不動態層を含むさまざまな蒸着アプリケーションに使用できます。AMAT ENDURA 5500は、フィルム層を高品質かつ高精度に堆積させることで半導体デバイスの生産を可能にする先進的なCVD加工ツールです。この600mmツールは、優れた温度制御と高精度のフロー制御を提供し、基板材料の均一なカバレッジを保証します。また、強力な監視制御資産を備えており、モジュール設計のおかげで非常に柔軟性があり、研究者は特定のニーズに合わせてモデルをカスタマイズすることができます。
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