中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9137601 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体薄膜アプリケーション向けに設計された業界トップクラスの蒸着装置です。優れたプロセス制御と均一性、高速サイクルタイム、優れたプラズマ性能を提供します。AKT Endura 5500は、低k誘電膜、窒化パッシベーション層、拡散層、水分障壁などの高度な成膜用途に最適で、あらゆる成膜プロセスにおいて信頼性とコスト効率に優れたツールです。AMAT ENDURA 5500は、最大250ワットのRF電力を生成する能力を備えた高性能なケムロンプラズマ源を備えています。このパワフルなソースにより、ユーザーは大きなパネル全体で正確に均一な厚さを制御できる高密度プラズマを生成することができます。また、アダプティブモーションコントロール機能を備えたロボットウェーハハンドリングユニットを備えており、プロセス全体の精度と均一性を向上させます。さらに、AKT ENDURA 5500は優れた機械制御を提供します。このツールの高度なプロセス制御機能により、ユーザーは堆積プロセスのすべてのパラメータを正確に監視および調整できます。これらのパラメータには、ガスの流れと圧力、基板バイアス、およびRFパワーレベルが含まれます。このアセットは、インラインプロセスモニタリングモデルとその場厚さモニタを備えており、プロセスが進行すると、ユーザーはほぼリアルタイムで膜厚を測定することができます。アプライドマテリアルズEndura 5500も迅速なプロセスサイクルのために設計されています。この装置の高速基板搬送システムとマルチゾーンのサーマルチャンバーにより、ユーザーはウェーハを素早く加熱して冷却することができ、サイクル時間が短縮されます。また、ウェーハキャリアとカセットのための便利で自動接続を提供します。自動化されたハンドリング技術により、人間の介入を最小限に抑え、より迅速で正確なプロセスサイクルを実現します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、高精度、高速サイクルタイム、信頼性の高いプラズマ性能を要求する業界の専門家にとって理想的な蒸着機です。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500は、薄膜プロセスと高度な半導体プロセスの両方に最適です。