中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、幅広い先端材料加工用途向けに設計された高性能リアクター装置です。AKT Endura 5500は、高いスループットとプロセスの柔軟性を可能にする最先端の設計を備えています。このシステムは、RFソースを使用して複数のプロセスチャンバーに同時に電源を供給する機能を提供し、LP-GF14ソースまたはICP-GF14ソースのいずれかで電源を供給できます。ユニークな設計により、ガス配分とガス流量調整の高速化が可能です。プロセスチャンバーは熱的に安定した真空容器に囲まれており、ウェーハ、サセプター、サンプル検査用のプロセスチャンバーにアクセスできる石英窓を備えています。チャンバーには、最高の性能と信頼性の高いプロセス制御を保証するCVDコーティングされたアブレータ材料が並んでいます。チャンバーにはオプションのオンボード赤外線カメラを装着することもでき、プロセスの平面パラメータをリアルタイムで監視できます。AMAT ENDURA 5500は、簡単なレシピ作成とデータロギングを可能にする組み込みプロセス制御ソフトウェアパッケージを備えています。プロセスレシピはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して設計されており、ユーザーは堆積率の成功に使用するパラメータとレシピを簡単に視覚化できます。AMAT Endura 5500の高度な電子制御は、優れたプロセス再現性と性能品質を提供します。高速パルス機能により、迅速なシート抵抗と膜厚制御が可能になり、微調整により、酸化物蒸着比の最適化などの特定の機能にアクセスできます。統合されたデータロギングパッケージは、詳細なプロセスデータを格納します。さらにAKT ENDURA 5500は、基板コンディショニング用のイオンビーム洗浄技術を内蔵しており、クリーニングガス配送ニーズと組み合わせることで、プロセス成膜前にウェハから汚染物質を除去する最適な方法を提供します。Endura 5500は、幅広い先進的な材料加工ニーズに適した汎用性の高いツールです。プロセスのパフォーマンス品質を最大化し、工具の複雑さを軽減するために設計されたさまざまなプロセス統合機能を備えた信頼性の高い高性能マシンを提供します。応用材料ENDURA 5500は、あらゆる高度な材料加工ニーズに最適です。