中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9123230 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、さまざまなプロセスやアプリケーションに使用されるシングルウェーハ型のバッチ型リアクタです。コンパクトで効率的なシステムで幅広い汎用性を提供する多機能機器です。AKT Endura 5500の主な特徴は、小型のシングルウェーハ操作から大型バッチ型の操作までの構成を可能にするモジュラー設計です。これにより、多くの産業、学術、研究施設に適しています。また、2つの再循環ポンプを装備しており、特定の処理パラメータを遵守し、その低い動作温度によりプロセスの安定性と寿命が向上します。AMAT ENDURA 5500は、お客様のニーズに合わせたさまざまなプロセスも提供しています。これらには、熱酸化、窒化、アニーリング、エッチング、金属蒸着、および成長プロセスが含まれます。これは、顧客のニーズに合わせて調整することができる複数のシャワープレートアセンブリが装備されており、モノからマルチレイヤー構造を生成するために使用することができます。この原子炉は、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、スパッタ蒸着など、さまざまな蒸着プロセスに対応するように構成することもできます。AMAT Endura 5500は、付属のユーティリティによってさらに強化されています。これらには、適切なプロセス最適化を可能にするin-situチューニング機能と、各プロセスの正確な制御を可能にするオンボード電源が含まれます。また、AKT Logix 3。0ソフトウェアは、すべてのプロセスの条件を制御するための最適なプラットフォームを提供し、すべてのプロセスの事前監視と診断を可能にします。最後に、APPLIED MATERIALIES ENDURA 5500は、ユニットの安全な動作を確保するために、いくつかの安全機能を備えています。これらには、原子炉シャーシを通過する直接熱経路、ビジュアルモニター、機械の圧力と温度を監視するための圧力差動モニターが含まれます。これらの機能はすべて、潜在的なリスクを容易に特定し、異常なツール機能を識別することを可能にします。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、効率的でコンパクトで柔軟な資産でさまざまな材料を処理するための理想的なリソースです。モジュラー設計により、あらゆるサイズの操作に適しており、汎用性の高い機能により、複数のプロセスを実行することができます。それは付随するユーティリティと安全機能によってさらに強化されており、安全で信頼性が高く、エネルギー効率の高いモデルとなっています。