中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112164 を販売中

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フォト（写真） 使用される AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 販売のために
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販売された
リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
Endura 5500
ID: 9112164
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
PVD System, 8" Process: STD AL/TiN Wafer type: SNNF Buffer robot: HP Transfer robot: HP Wide body load lock with auto-tilt in/out Sliding sensor kit: no Chambers A/B: Chamber type: cool down Chamber lid: metal lid Cooling method: By PCW / By Gas Chamber C: Chamber type: empty Chamber process: PCII RF generator / DC power supply 1: LF-10 RF generator / DC power supply 2: CPS-1001 RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: 361C Chamber D: - Chamber E: Orient / Degas Chmaber F: Orient / Degas Chamber 1: Chamber type: STD body Chamber process: TiN RF generator / DC power supply 1: MDX-L12 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chambers 2: Chamber type: wide body Chamber process: AL RF generator / DC power supply 1: - RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chambers 3: Chamber type: wide body Chamber process: AL RF generator / DC power supply 1: MDX-L12 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chamber 4: Chamber type: STD body Chamber process: TI RF generator / DC power supply 1: - RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F 1999 vintage.
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AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、半導体デバイスの製造に使用される高性能のマルチチャンバー蒸着装置です。酸化物、窒化物、金属蒸着など様々な基板を用いた幅広いプロセス応用が可能です。AKT Endura 5500は、最先端のデバイス製造のための厚さの均一性、特徴の適合性、および高度な層間ステップを高精度に制御します。AMAT ENDURA 5500は、高度な真空システムと高効率な再循環ケミカルデリバリーユニットを備えており、エネルギー効率の向上、均一性の向上、機械圧力の低減、有害なガスの副生成物の排除を通じて、全体的な運用コストと環境への影響を最小限に抑えます。また、高度なウエハプロセス制御のための幅広いパラメータを備えた温度制御基板供給ツールを提供することができます。ENDURA 5500チャンバ設計は、円形ジオメトリを使用して、均一性、温度、圧力などのプロセスパラメータを最適化します。その高度なガス分割制御は、1つまたは2つの独立した固体、液体、またはガス状の試薬を効率的かつ均一に提供することができます。また、効率的で低放射プロセス制御のための高度な熱水冷却プロセスと、幅広いプロセス条件と要件に対応する幅広いインジェクタ設計を提供しています。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、プロセスレシピを迅速に定義および管理し、モデルのマルチチャンバーパラメータを利用できます。開発および検証段階でのプロセス監視およびトラッキングとの統合には、幅広いAPIが利用可能です。装置で使用される高度なプロセス制御アルゴリズムは、正確な生産と高い歩留まりの結果を保証します。Endura 5500は、優れた信頼性とパフォーマンスを提供し、単一のシステムで最大40の同時プロセス手順を実行します。その先進的な材料の互換性、プロセスの汎用性、柔軟性、高性能は、業界で最も厳しい要求を満たすことができます。このユニットはスケーラビリティを考慮して設計されており、幅広い前駆体で動作するため、製品の容易な拡張とプロセススループットの向上が可能です。
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