中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112161 を販売中

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フォト（写真） 使用される AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 販売のために
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販売された
リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
Endura 5500
ID: 9112161
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1988-2000
PVD System, 6" Process: STD AL/TiN Wafer type: SNNF Buffer robot: HP Transfer robot: HP Wide body load lock with auto-tilt in/out Sliding sensor kit: no Chambers A/B: Chamber type: cool down Chamber lid: metal lid Cooling method: By PCW / By Gas Chamber C: Chamber type: empty Chamber process: PCII RF generator / DC power supply 1: LF-10 RF generator / DC power supply 2: CPS-1001 RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: 361C Chamber D: - Chamber E: Orient / Degas Chmaber F: Orient / Degas Chamber 1: Chamber type: STD body Chamber process: TI RF generator / DC power supply 1: MDX-L18M RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase Chambers 2/3: Chamber type: wide body Chamber process: TiN, P/N: 0010-21844 RF generator / DC power supply 1: MDX-L12 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase Chamber 4: Chamber type: STD body Chamber process: TI RF generator / DC power supply 1: MDX-L18 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase 1988 - 2000 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、不活性な雰囲気の中で極端な温度で材料を処理する機能を備えた超高真空装置です。このタイプのシステムは精密なプロダクトを作り出し、処理するためにハイテクな研究所および工業生産で使用されます。この特定のユニットは、2000°Cまでの温度と超高真空範囲の圧力が可能です。AKT Endura 5500のチャンバーには、材料、サンプル、および飼料ガスを挿入するための複数のアクセスポイントが装備されています。このマシンは、処理される材料の劣化を最小限に抑えて、高スループットレートに到達するように設計されています。チャンバーは、表面触媒反応または化学吸収研究のために紫外線が通過することを可能にする石英チューブで作られています。チャンバーには加熱されたマニピュレータアームも内蔵されており、チャンバーの周りにサンプルを正確に移動させ、さまざまな圧力速度と温度でプログラムすることができます。AMAT ENDURA 5500リアクターには、高度なマルチゾーン加熱ツールが搭載されています。これにより、シリコン、ホウ素、リン酸インジウムなどの材料の成長に必要な温度を素早く切り替えることができる、ほぼ拡散のない加熱が可能になります。加熱アセットはマニピュレータアームとともに使用され、ゾーン間で材料を正確かつ迅速に加熱しながら移動します。このモデルは、タッチスクリーン、迅速な温度調整とプログラム調整のための組み込みレシピソフトウェア、緊急時の圧力遮断などの安全機能を含むユーザーフレンドリーな機能で設計されています。APPLIED MATERIALS Endura 5500リアクターは全体的に、材料の加工、製造、研究のための効率的で汎用性の高い機器です。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、超高真空、高度な温度機能、マルチゾーン加熱を使用して、劣化を最小限に抑えてさまざまな材料を迅速かつ正確に処理できます。
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