中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9107884 を販売中
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販売された
ID: 9107884
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
PVD System, 8"
(3) Wide Chambers
(1) Preclean 2
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、基板加工装置に改善され、信頼性の高い性能を提供するために設計および開発されています。この低コストで使いやすいプラットフォームは、材料、設計、およびプロセス技術の最新の革新を単一の機器に統合し、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。AKT Endura 5500リアクターは、独自のマルチパターニングプロセスを使用して生産性を向上させます。独自の電着システムを搭載し、蒸着の厚さと速度を完全に制御し、幅広い材料で正確かつ再現性のある結果を得ることができます。この原子炉には制御された熱暖房システムが組み込まれており、プロセスの安定性と再現性を向上させるため、チャンバー全体で均一な温度を確保しています。この原子炉は、金属、ガラス、ポリマーなど様々な材料のための多種多様なオートメーションモジュールを組み込んで、プロセスの柔軟性のために設計されています。原子炉は、最大7kgの基板重量で直径5インチまでの基板に対応できます。また、堆積性能のリアルタイム監視を提供するソフトウェアパッケージもあります。最先端のデザインには、アンチサーフィン、ロックダウン、緊急停止ボタンなどの高度な安全機能も組み込まれています。高度な安全機能の利便性は、オペレータが安心して作業環境に自信を持って感じるのに役立ちます。さらに、原子炉にはさまざまな高度な監視装置が装備されており、システムのパフォーマンスと重要なプロセスパラメータに関するリアルタイムデータを提供します。この情報は、環境要因の変化に応じて、タイムリーなプロセス調整を行うために使用することができます。AMAT ENDURA 5500リアクターは、幅広いプロセス環境と互換性があるように設計されており、労働要件を最小限に抑えるために自動生産システムに統合することができます。さらに、原子炉には大規模な熱交換器が組み込まれており、エネルギー消費を最小限に抑えることができます。費用対効果の高い価格設定と高度な機能を備えたEndura 5500は、あらゆる基板加工作業に最適なデバイスです。
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