中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9096874 を販売中

この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。

フォト（写真） 使用される AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 販売のために
Loading
販売された
リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
Endura 5500
ID: 9096874
ウェーハサイズ: 8"
System, 8" Process: Al/Ti and TiN (4) Chambers: (2) Process chambers Signal tower: 3-color Loadlock type: Nallow Auto Buffer robot: HP Buffer robot blade: std Transfer robot: HP+ Transfer robot: std VHP Robot Chamber A: PASS Chamber B: Cool Down Chamber E: Orienter Degas Chamber F: Orienter Degas Chamber 1: Al process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20225 Heater: Heater Shutter: n/a Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M RF/DC Gen2: MDX-L12 Gas N2: 100 SEC 4400 MC Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 2: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 3: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 100 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Chamber 4: TI process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20258 Heater: Heater Shutter: N/A Cryo pump Gate valve: Cryo RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 20 SEC 4400 M Gas N2: 100 SEC 4400 M Pump L/L A30W System: Leybold WSU151/D25BCS Cyro comp: 9600 Cyro pump: on board.
続きを読む 閉じる
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体ウェーハまたは太陽電池上に薄膜を作成するために設計されたマルチチャンバーバッチ処理炉です。AKT Endura 5500は、温度、圧力、ガスの流れ、プログラマブルタイマー、安全インターロックを調節する独自の制御パラメータを備えた5つの独立したプロセスチャンバーの標準構成を備えています。各チャンバーは、実行中の特定のプロセスに合わせて調整できます。AMAT ENDURA 5500のバッチサイズは直径11。5インチ（29 cm）まで、チャンバーの総容量は最大3。8立方フィート（109。47リットル）です。ENDURA 5500は主にリアクティブイオンエッチング（RIE）プロセス用に設計されていますが、スパッタリング、物理蒸着（PVD）、化学蒸着（CVD）などの薄膜加工にも使用できます。酸化物エッチング、窒化ケイ素エッチング、リン酸化ケイ酸ガラスエッチング、低圧ポリシリコンエッチングなどのエッチング処理を行うために、プロセスチャンバーにリアクタントガスを搭載することができます。また、酸化物、窒化物、フォトレジストなどの成膜プロセスにも使用できます。AMAT Endura 5500の主電源は三相交流電力です。原子炉内には、危険なガスへの曝露を制限するために、いくつかの環境および安全機能が組み込まれています。応用材料ENDURA 5500は、プロセスチャンバーを清潔で安全に保つために、スクラバー装置と真空システムと共に調整可能なパージサイクルを備えています。これは、処理中の火災を制御するための緊急シャットオフスイッチと不活性ガスバックフラッシュユニットを備えています。応用材料Endura 5500は多種多様なプロセスレシピ用に設計されており、時間、温度、圧力、真空、ガスの流れ、およびその他の制御可能なパラメータを正確に制御する機能を備えています。リアクターは、手動またはクローズドループ・フィードバック・マシンを介してプログラム可能な制御下で操作することができます。柔軟でユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、ユーザーはプロセスパラメータを最適化して目的の結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、より高いアスペクト比と深溝構造を含む複雑な半導体デバイス形状を扱うことができます。モジュラー設計により、オペレータがリアクタのトラブルシューティングと校正を容易に行うことができます。さらに、完全に自動化された制御ツール機能により、ユーザーはプロセスレシピを作成および保存し、プロセスパラメータを最適化し、結果を簡単に複製することができます。
続きを読む 閉じる
まだレビューはありません