中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9082608 を販売中

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ID: 9082608
HP PVD System, 6" (2) Wide body with 11.3 source (1) Standard body with 11.3 source Narrow body load lock Process: Al, TiN, Ti (3) Process chambers (1) PCII chamber (2) Degas / Oriented chambers and TC monitor VHP robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、さまざまな精密材料加工用途向けに設計された高性能リアクタです。それは優れた性能と信頼性を提供する統合された、モジュール式で拡張可能な機器です。AKT Endura 5500は、産業および研究アプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。それは8トンまで材料を収容できるよく設計された、多層ウェーハのローディングおよび処理プラットホームを特色にします。流体供給、クリーンスペース、高真空ハードウェアを一体化したシステムで、単純金属から複雑なポリマー、セラミックスまで幅広い材料に対応できます。AMAT ENDURA 5500は、独自の仮想反応ゾーン(VRZ)ビューを含む多くの高度な自動化機能を備えており、いつでも原子炉プロセスを監視および管理できます。これにより、チャンバー条件の自動および予測制御が可能になります。さらに、VRZビューは、ユーザーが理解可能なグラフィックとテキストで反応条件を読み込み、評価し、監視することができるユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALIES/AKT ENDURA 5500はメンテナンスと保守性が容易で、修理のためのすべてのコンポーネントへの便利なアクセスを提供します。温度や圧力制御、統合された電子ログブックやデータロギングユニットなど、さまざまな高度な機能に支えられています。このマシンにはパージングツールが内蔵されているため、シャットダウン後の高速パージとリカバリが可能です。これにより、材料沈着を低減し、クリーン基板を維持し、使用する材料の劣化を低減することができます。APPLIED MATERIALTS Endura 5500には、電気圧力と真空圧力を制御するための事前構成済みモジュラーモデルであるKompakt Assetが統合されています。Endura 5500は、優れた基板加熱のための高出力パルスRFおよび温度制御システムも備えています。装置は高精度の加熱制御を提供し、任意の温度で均一な基板加熱を保証します。また、非常に高速かつ正確なサンプル加熱と冷却を提供し、より高速な処理サイクルを可能にします。全体として、アプライドマテリアルズENDURA 5500は、精密材料加工用途に特化した先進的で高性能でフレキシブルな原子炉です。VRZビューなどの高度なオートメーション機能により、優れた信頼性とパフォーマンスを提供します。AMAT Endura 5500は、メンテナンスと保守性、高速パージおよびリカバリシステム、高出力パルスRF、および温度制御により、要求の厳しい精密な基板処理に最適です。
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