中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9078245 を販売中

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ID: 9078245
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
System, 8" Wafer Transfer: Loadlock Type: NB, Tilt-Out Buffer Robot Type: HP Transfer Ch Robot Type: HP Ch#A: Cool-down Ch#B: Cool-down Ch#C: PC-II Ch#D: None Ch#E: Ori/Degas Ch#F: Ori/Degas Chamber 1: Chamber Process: AL Wafer Chuck: 101 Chamber Body: NB STD Wafer Heater: Moterize/101 Pedestal Cryo Pump: 2 Phase Gate Valve: 2 Position Chamber 2: Chamber Process: Ti Wafer Chuck: 101 Chamber Body: WB STD Wafer Heater: Moterize/101 Pedestal Cryo Pump: 2 Phase Gate Valve: 2 Position Chamber 3: Chamber Process: AL Wafer Chuck: 101 Chamber Body: NB STD Wafer Heater: Moterize/101 Pedestal Cryo Pump: 2 Phase Gate Valve: 2 Position Chamber 4: Chamber Process: Ti Wafer Chuck: 101 Chamber Body: WB STD Wafer Heater: Moterize/101 Pedestal Cryo Pump: 2 Phase Gate Valve: 2 Position AC Power: 60 Hz 480V/208V TRSF Generater Rack: 1st & 2nd L12 X 2, 20K X1, 10K X2 (2) Cryo compressors: 9600 Pump: System: QDP40 PC-II QDP40+250RB Chiller: Model: Neslab-III Signal Cable: 50ft STD 1995 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、有機薄膜材料の研究および生産のために設計された高度な化学蒸着装置です。この原子炉システムは汎用性が高く、誘電体、半導体、有機膜、バリア材料、磁性材料など様々な材料の薄膜を製造することができます。AKT Endura 5500は、費用対効果と省スペースを兼ね備えたモジュラー設計を採用しています。AMAT ENDURA 5500原子炉室は、複雑な蒸着プロセスに最適な強力なガス供給制御ユニットを提供します。一連のガスミキシングバルブは、チャンバー内の温度と圧力制御を可能にするため、最小ガス使用量で高い蒸着率を達成することができます。デリバリーバルブの設定は、蒸着プロセスの所望の温度に基づいて自動的に調整することができます。温度は室温から700°Cの最高に変えることができます。さらに、圧力は数ミリバーから大気圧に調整することができます。AMAT Endura 5500リアクターは、薄膜材料の正確な測定制御も提供します。0。1ミクロンの精度で最大5ミクロンの薄膜厚を測定できるリアルタイム厚さ監視機を採用しています。このモニタリングツールは、堆積物の最適な品質管理により、迅速かつ迅速な測定を可能にします。アプライドマテリアルズEndura 5500リアクターは、高スループット処理を可能にする有向反応エッチング(DRE)技術を利用しています。この技術は、基板から層を正確にエッチングするためにエアロゾルイオンのビームを使用して、サブミクロンの厚さのフィルム層を生成します。また、DREプロセスにより、成膜プロセスにおける材料微細化学の精密な制御が可能となり、ナノ材料研究に最適です。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500リアクターはシンプルなメンテナンスを提供します。アセットのモジュール設計により、サービス技術者はアクセスとクリーニングを容易にし、部品の取り外しと交換を容易にすることができます。Endura 5500リアクターは、自動圧力制御装置やスライドドアなど、モデルとオペレータの両方を保護するための安全機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500リアクターは、研究者や生産ラインの労働者に高度な柔軟性と材料蒸着精度を提供する信頼性の高い高スループットCVDシステムです。温度、圧力、微化学、ナノ材料などのパラメータを優れた制御を提供し、最適な制御と品質の出力を可能にします。
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