中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9064236 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9064236
System, 8"
Process CH. 3: AL, CH. D: PC2(Oxide Etch )
Software version Unknown
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8”PEEK Miraial
SMIF Interface None
Heat exchanger: none
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber D PC2(Cryo Type)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 3 AL(Wide Body)
Transfer:
Load LockA/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP+
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP+
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Transfer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Chamber D:
Process Type Oxide Etch
Chamber Body Cryo Type(AMJ：0020-23249)
Pedestal Parts No. AMJ ：0010-20754
Lift Assy Parts No. AMJ ：0010-20753
Power Supply (kw) AMJ ：0190-70099
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 300sccm(SEC-4400MC)
Chamber 3:
Process Type AL
Chamber Body Wide Body(AMJ：0040-20195)
Source Type Standard
Target Type Unknown
Magnet Type AMJ ：0010-20225(Mechanical Fail)
Magnet Shim Size 0.5MM
Lift Assy Parts No. 0010-70271
Heater Parts No. 0010-12516
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Cryo Gate Valve Type 3Positon
Cryo Pump Type Enhanced(8116071G001)
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 100sccm(SEC-4400MC)
Cryo compressors:
(1) BROOOKS 8510, gas: He (99.999%pure)
(1) BROOOKS 8500, P/N: 8031348G001, gas: He (99.999%pure)
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体およびMEMS業界で最も一般的に使用されるさまざまな材料で高温アニーリング、酸化、および窒化プロセスを実行することができる先進的な垂直熱反応器です。この原子炉は、2つの基板を同時に処理できるユニークなデュアルヘッド設計を備えており、内蔵の真空ポンプを内蔵しています。AKT Endura 5500には、最先端の発熱体と堅牢なデジタル温度制御装置が装備されており、正確で均一な熱処理を保証します。制御システムはまた、広範囲の温度レジームのための滑らかな傾斜とステップとドウェル加熱プロファイルを可能にし、より高い温度のための追加の加熱要素の統合を可能にします。AMAT ENDURA 5500は、使いやすさのための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、安全プロトコルを保証する内蔵のインターロックユニット、および各アプリケーションのさまざまな設定可能なパラメータも備えています。APPLIED MATERIALTS Endura 5500の設計には、交換可能な部品やパージおよび反応ガス導入用の複数のガス入口に容易にアクセスできる耐久性のあるステンレス鋼構造が組み込まれています。リアクターには、90インチの表示窓とオプションの表示カメラ、機械式リフトと重量/ベルトマシンが装備されており、積み降ろしを容易にします。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、ウェーハや基板を直径6インチまで加工することができ、標準基板や超薄基板など様々な厚さの基板を加工することができ、最大プロセス温度は1100°Cです。また、優れた熱均一性、再現性、基板構成の柔軟性に優れているため、さまざまな高温アニーリング、酸化、窒化プロセスに最適です。
まだレビューはありません