中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9030866 を販売中
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販売された
ID: 9030866
PVD system, 8"
System software ver: C8.622
System Platform: Endura
Wafer Shape: SNNF
EMO Type: Turn to Release
CE Safety Mark: English
CIM Configuration: SECS
SBC Version: V452
Mainframe Configuration:
Buffer Robot Type: HP
Buffer Robot Blade: Thin Metal
XFER Robot Type: VHP
XFER Robot Blade: Original Metal
Lid Hoist: Yes
Status Light Tower: RYG
Remote Monitor: Table Mount
Sub-System Configuration:
(1) Chiller: Model: None
Cryo Pump Type: CTI Cryo- on board 8F
Cryo Pump Power: 3 Phase
(2) CompressorS
Compressor Type: 9600
Loadlock Configuration:
Loadlock Type: Narrow body
Auto Rotation: Yes
Cassette Type: 8"
Mapping Function: WFM
Vent Type: Variable Speed
Fast Vent Option: Yes
LLKs NB w/Auto Tilt
A Pass-thru
B Cool Down
E O/D (Std)
F O/D (Std)
C PCII w/Cryo Std
D PVD TiN 101
1 PVD Tungsten (W) HT-ESC - Chamber has UV Flash for ESC E-Clean
2 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact.
3 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact
4 PVD Al/Cu SLT-ESC Complete
5 Iso-Valve (Manual) -
Bfr HP
Txfr VHP (Style Lid)
PVD Hot-Al Chambers: These are Water-Cooled Chamber bodies (can't use for other processes which use Wide-Body Chambers
Gas Information:
Gas Box Pneumatic Valve: Single
Pneumatic Valve Type: Veriflo
Manual Valve Type: Veriflo
MFC Type: FC-780C
Gas Line Out: Out The Back
Modules:
M/F Yes
Sys/AC Yes
EQ1 Yes
EQ2 Yes
Main/AC Yes
AC Dist Box Yes
Cryo Comp 3 - 9600
Heat Ex Yes, Neslab III
Pumps No Pumps included with any tools
Lift Hoist non-AMAT, Gantry & 250lb hoist
Umbilical Configuration:
Controller to Main AC: 50 Feet
Controller to Mainframe: 50 Feet
Mainframe to Generator: 50 Feet
Remote Monitor: 50 Feet
Mainframe to Compressor: 50 Feet
Main AC to pump: 50 Feet
AC Box to Heat Exchanger: 50 Feet
Controller to Gen Rack: 50 Feet
Gen Rack to Gen Rack#2: 50 Feet
Electrical Configuration:
Line Voltage: 200V
Full Load Current: 487A
Remote Transformer: No
Frequency: 60Hz
Missing Parts:
Chamber E: Orientor PCB
Chamber F: Orientor PCB
Chamber 2: Missing upper chamber lid
Chamber 3: Missing upper chamber lid
Chamber C: Missing upper chamber lid
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、幅広い半導体加工アプリケーション向けに高度な機能を備えたシングルウェーハ処理炉です。この直感的に設計された原子炉は、生産性とプロセスの柔軟性を最大限に高めるように設計されており、ユーザーは優れたプロセス能力を備えた非平面型、平面型、複雑なデバイス構造を実行することができます。AKT Endura 5500は、高度なトライゾーン加熱・冷却技術を駆使した比類のない熱機能を備えており、ウェーハ表面全体の均一な反応を正確に制御することができます。この熱性能は、プロセスガスの正確な制御と均一な分布を提供する均一フローメディアインジェクション技術によってさらに装備されています。その結果、ユーザーは反復可能で一貫した性能を持つ最適なフィルムプロファイルを達成することができます。原子炉のその他の機能には、高可用性、ダウンタイムの短縮、優れたプロセス制御などがあります。安全性と環境保護の観点から、AMAT ENDURA 5500はUL/CSAなどの安全基準を満たしており、危険なプロセス材料への潜在的な暴露から人員を保護するための密閉エンクロージャなどの機能を備えています。さらに、原子炉には高度な診断ツールが装備されており、簡単で効率的な監視と追加のプロセス検証が可能です。また、従来の熱処理と比較してプロセスの均一性が向上し、柔軟性とスループットが向上しました。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500は、優れた熱性能とは別に、プログラマブルフィード/ベントオプションと効率的な現場プロセス制御をサポートする高度なI/O構成を備えた柔軟な制御オプションをユーザーに提供します。さらに、原子炉は、効率的な運転と最適化された歩留まりを可能にするために、化学封じ込めと低流量モードを利用しています。精密モーションコントローラを使用することで、ユーザーは小さくても正確なモーションコントロールを迅速にキャリブレーションでき、サードパーティ製システムへの統合も可能です。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、無駄と全体的なコストを最小限に抑える強力でユーザーフレンドリーで安全な原子炉です。省エネ技術、優れた熱性能、ダウンタイムの低減、プロセス制御に優れているため、半導体業界に最適です。
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