中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293831634 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500ドライエッチング炉は、最先端のプラズマエッチング装置であり、最も複雑な半導体設計ルールの迅速かつ正確な処理を可能にします。このシステムは、高度なプロセス制御と統合されたインテリジェンスを提供することで、革新性を高め、エッチングアプリケーションに大きな柔軟性を提供します。最大エッチング速度は5500 nm/minで、エッチングプロセスのすべての段階を正確に制御できます。AKT Endura 5500は、独自のウエハ形状認識ユニットを含むコンパクトな設計により、標準的なファブスペースに収まることができ、ファブフロアの要件を大幅に削減します。AMAT ENDURA 5500は、最も要求の厳しいプロセスでも拡張性のために設計された革新的なツールです。その高度なエッチソース技術により、優れたトリム精度と即時エッチング速度制御が可能です。現場診断により、エッチング条件をリアルタイムで監視することができ、薄膜の均一性を維持するための正確なプロセス情報を提供します。さらに、特許取得済みのMultiGas？技術は急速なガススイッチングを可能にし、最小限の再訓練でOリングとビアの両方をエッチングする能力を可能にします。このツールのプロセス制御およびオートメーション機能には、マルチゾーン反応チャンバ、自動ロード/アンロード・ロボット、ホット反応イオンエッチプルーム管理機能、および複数のガス供給システムが含まれます。また、包括的なプロセス制御により、より効率的なプロセス最適化が可能となり、エッチング条件を変更するために素早く調整することができます。さらに、ENDURA 5500は複数の層を同時にエッチングすることができ、複数の基板を1回の実行で処理することができます。この高度な機能により、プロセスのセットアップが大幅に簡素化され、生産時間が短縮されます。さらに、統合されたエラー処理と高度なプロセス制御により、予防的なメンテナンスが可能になり、予定外のダウンタイムと潜在的な修復コストが削減されます。AMAT Endura 5500ドライエッチング炉は、要求の厳しいプロセスにとって優れた資産です。その高度な機能と拡張性により、複雑な設計ルールをエッチングする上で非常に貴重なツールとなります。このモデルの優れた機能により、経済的な価格で高品質の結果を得ることができ、精密エッチングが必要なお客様に特に有益です。