中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293829116 を販売中
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ID: 293829116
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Sputtering system, 8"
(2) PVD Endura type remote generator rack
(2) TxZ Gas cabinet
Buffer HP Robot, Transfer robot VHP Robot
AMAT 0 Heat exchanger
AMAT NESLAB III
AC Rack
Umbilical cable length: 25 feet
Chambers:
LLA Load lock A Narrow body with auto tilt
LLB Load lock B Narrow body with auto tilt
E / F Orient / Degas orienter / Standard degas
Clear lid wafer lifter
Cool down clear lid wafer lifter
Buffer HP Robot with metal blade
Transfer VHP Robot with metal blade
IMP Chamber:
Wide body chamber
IMP Source with magnet
Motorized lift assembly
UHV Gate valve (3-Position)
A101 Heater
Shutter assembly
HFV- 8000
MDX - L12 M-650 DC Power supply
HP T x Z Chamber:
Heater lift assembly
Gate valve
HP TxZ Heater
PDX - 900 - 2V
PC II Resonator:
Chamber body
Wafer lift
RF Match
RF CPS1001S
RF LF - 10 A
Missing parts:
9600 System Cryogenics compressor missing
(3) OB-8F Cryogenics pump (3PH) Missing (Buffer, X-fer, IMP)
(4) 361C Turbo pump missing (PC II 2ea, TxZ 2ea)
(4) Resistor on TxZ Lid missing
Operating system: VMS
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、高度な半導体用途に使用される高性能移転およびリソグラフィ炉です。AKT Endura 5500装置は、迅速かつ正確なパターン転送を可能にし、ドープされたポリシリコン、単層および二層ポリシリコンゲートスタック、ハードマスクなど、複数の標準的なプロセス材料をサポートします。このシステムは、大規模な高精度チャンバー、高速冷却、およびウェーハ表面全体にわたって正確なパターン複製を保証する多段リソグラフィプロセスを備えています。AMAT ENDURA 5500はまた、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）やパルスレーザー蒸着（PLD）などのハイエンドなプロセス機能を提供し、今日の超薄型デバイスの処理を可能にします。AKT ENDURA 5500は、シリコン、ヒ素ガリウム、絶縁体シリコン、ガラスなど、さまざまな基板を保持することができます。APPLIED MATERIALS Endura 5500ユニットは、デュアルサーボ制御ステージメカニズムを備えており、幅広い温度範囲での動作に優れた精度と再現性を提供します。3ゾーンの高分解能干渉顕微鏡（IRM）を搭載し、プロセス全体を監視します。このツールには強力なプロセッサが含まれており、幅広いリソグラフィーアプリケーションで重要な寸法をリアルタイムで読み出すことができます。さらに、AMAT Endura 5500は、低温プロセスのサーマルアニーリングをサポートし、フィルムや構造物の接着性を向上させます。APPLIED MATERIALTS ENDURA 5500には、空中汚染物質への曝露を大幅に低減する独自のホットロード/コールドアンロード機能も含まれています。これにより、デバイスの品質が大幅に向上し、デバイス生産の全体的なコストが削減されます。さらに、ENDURA 5500は、高品質で磁気浮上したモーター駆動のシャッターを備えた真空チャンバーを備えており、反復可能な動作のために反応チャンバを正確にシャッタリングすることができます。ハイエンドのリソグラフィ機能、再現性、精度を兼ね備えたAMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、高度な半導体アプリケーションに最適なソリューションです。これは、最も商業的に重要なプロセスに必要なパフォーマンスと信頼性を顧客に提供します。
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