中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293809674 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、化学機械研磨（CMP）用のコンパクトで費用対効果の高い、本格的な自動処理装置です。AKT Endura 5500の革新的な設計により、プロセスエンジニアはコストを削減し、スループットを向上させることができます。AMAT ENDURA 5500の中心には、高性能で高スループットの原子炉設計があります。この原子炉は、最大10個の基板に対応できる大型チャンバーと、各アプリケーションのプロセスパラメータを変更および最適化する柔軟性を提供する統合された高スループットプロセス技術で設計されています。統合されたプロセス技術には、ウェーハ表面全体にわたって最適なプロセス制御と均一性を保証するダイナミックなエアフロー制御が組み込まれています。AKT ENDURA 5500は洗練された機能豊富なオートメーションシステムを提供しています。このユニットは、バッチと連続モードの両方で動作し、プロセスエンジニアに処理プロトコルをカスタマイズする柔軟性を提供するように設計されています。また、統合された制御システムは、リアルタイムの適応学習制御機能を提供し、プロセスエンジニアがプロセスのバリエーションを検出して排除することができます。ENDURA 5500は、低圧反応チャンバにより、高精度で均一なCVD、 PVD、 CMPプロセスを実行することができます。これにより、プロセスエンジニアはターゲット基板上に薄く均一な材料層を作成することができます。さらに、このマシンのデュアル極性ターゲットの統合により、可変比と強化されたパルス周波数が可能になり、CVDおよびPVDプロセスの制御が向上します。AMAT Endura 5500は、不活性ガス監視ツールやプロセスの汚染を防ぎ、極端な温度への基板暴露を制限する低圧パージなどの高度な安全機能も備えています。自動化されたウェーハマッピング、クローズドループ・プロセス監視、Corning LP4ガラス板リカリブレーションなどのその他の機能により、最高品質のプロセスが保証されます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、高いスループットと卓越した精度と均一性で、低コストで基板を処理するために特別に設計された効率的で高性能なアセットを加工エンジニアに提供します。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、強力な高スループット炉の設計、洗練されたオートメーションモデル、高度な安全機能を備え、高精度の薄膜蒸着およびCMPプロセスを必要とするプロセス用途に最適です。