中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293768842 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、複雑な半導体デバイスの製造において、電気化学蒸着やエッチングなどの重要な半導体プロセスを加速し、容易にするために設計された特殊なツールです。この超高真空（UHV）原子炉は、金属化層、誘電体フィルム、絶縁膜、異方性導電膜、フォトレジスト層など、さまざまな材料を処理することができます。AKT Endura 5500は、高性能設計と相まって幅広い処理能力を備え、さまざまな作業に対応する信頼性の高い加工ステーションです。AMAT ENDURA 5500は、マルチプロセス機能をサポートするUHVリアクタです。このシステムは、業界標準のメカトロニクスアーキテクチャを使用しており、メンテナンスを最小限に抑え、最大限の信頼性を提供します。その高出力、マルチソースのプラズマ源は、幅広いエッチングプロセスに低周波（RF）電力、パルスRF電力、および低温DCバイアスを提供することができます。さらに、マルチソース機能により、タイトなプロセス制御やエッチングガスの使用にも最適です。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、双方向ターボ分子ポンプと間接加熱を備えたクワッドゲート熱源を使用して、低圧、高温プラズマ処理を実現しています。このシステムの温度制御プラットフォームは、温度を1°C以内に制御することができ、低kポリマーや誘電体の蒸着などのプロセスに最適です。さらに、この熱源は広範囲の基板上の温度を制御することができます。さらに、APPLIED MATERIALS Endura 5500には、高精度のジェスチャー認識とロボットによるモーションコントロール技術が搭載されており、ウェーハの正確な自動処理と位置決めが可能です。この最先端の技術は、プログラマブルなレシピスクリプティング機能と相まって、オペレータは非常に自動化された再現可能なレシピを迅速に作成することができ、迅速なサイクルタイムと運用コストの削減を可能にします。AMAT Endura 5500は、プロセス分析、データロギング、計測、および材料追跡システムとシームレスに統合できるように設計されており、小規模および大規模生産環境に最適です。直感的なオペレータインターフェイスにより、ユーザーフレンドリーな操作が保証され、リアルタイム分析とリモート診断機能によりダウンタイムを大幅に削減できます。Endura 5500は、複雑な作業を容易に処理しながら、幅広い処理要件を満たすことができる汎用性の高い高精度な加工ツールを必要とする作業に最適です。高性能、信頼性、自動化された機能により、お客様は生産要件を満たしていることを保証し、運用コストを大幅に削減できます。