中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293752145 を販売中
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ID: 293752145
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
PVD System, 8"
Signal cables: 25 M
(1) NESLAB
(2) Cryo compressors 9600
(2) Frequency converters
(2) Gen racks
Turbo Controller
RF and DC generator for Ch1/2/3/4/C/D
System configuration:
SNNF
HP Robot
Ch 1: A101 TiN
Ch 2: STD Al
Ch 3:STD Al
Ch 4: A101 TiN
Ch C: PCII
Ch D: PCII
Chambers:
LL: Widebody universal rotate
CH E: Orient/Degas
CH F: Orient/Degas
CH A: Passthrough with clear lid
CH B: Cooldown with clear lid
CH C: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH D: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH 1: Widebody G12 TiN – No shutter / AE MDX-L 12M-650
CH 2: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 3: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 4: Wideobdy G12 TiN – AE MDX-L 12M-650
System controller SBC Board missing
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、先進的な半導体加工のために設計された最先端の原子炉です。この原子炉は、化学蒸着(CVD)による先端材料の製造に広く使用されているプラットフォームです。AKT Endura 5500は、幅広いプロセス用途に最適な温度、圧力、ガス制御を提供するように設計されています。5500はまた、高いスループットと均一な蒸着速度を提供し、より高い歩留まりと低コストを可能にします。この装置は、高速かつ一貫した処理のための強力な8ウェーハバッチボックスを備えています。AMAT ENDURA 5500は、最大限の柔軟性と再現性を提供する堅牢なハードウェアとソフトウェアプラットフォームで構築されました。ハードウェアには、AMAT Endura 5500 PC制御プロセスコンピュータ、プロセスコントロールセンター、および自動ガス処理システムが含まれます。Endura 5500はまた、高品質の処理性能を確保するための幅広い機能を提供しています。このユニットには、内部の水晶ビューポートと低温蒸着機能が含まれています。内部ビューポートを使用すると、プロセスの進行状況をリアルタイムで監視することができ、低温蒸着により幅広い蒸着材料と温度を実現します。機械はまた安全操作を保障する高度の安全機能と統合されます。応用材料ENDURA 5500は、金属有機化学蒸着(MOCVD)、低圧化学蒸着(LPCVD)、高圧化学蒸着(HPCVD)、蒸着蒸着(HPCVD)などの低温プロセスの範囲を提供するように設計されています。このツールは、可変温度蒸着(VTD)や定温ゾーン(CTZ)など、さまざまな温度制御モードも提供しています。最後に、ENDURA 5500は信頼性と耐久性に優れた原子炉資産です。このモデルは、振動や耐衝撃性に優れた堅牢な構造を提供し、機器の稼働時間を最大化し、プロセスのバリエーションを削減します。また、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、メンテナンスが容易なユーザーフレンドリーなインターフェースを誇っています。これらのすべての機能により、アプライドマテリアルズEndura 5500は、高度なナノ加工、チップ製造、および密度スケーリング用途に最適なソリューションです。
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