中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293748483 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 293748483
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Physical Vapor Deposition (PVD) system, 6" (2) Al PVD Chambers Ti PVD Chamber Narrow body load lock HP Robot 1993 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体部品およびシステムの製造に使用される重要なツールです。主に、さまざまな業界標準を満たす高耐久性、低消費電力の部品やデバイスを作成するために使用されます。AKT Endura 5500は、市場の他の多くのツールと比較してパフォーマンスと信頼性が向上しているため、多くのウェーハ製造プロセスに最適です。AMAT ENDURA 5500は、複数のウエハサイズに対応できる単室水平型リアクタです。高速で高精度なプラズマエッチングと蒸着プロセス用に設計されています。装置は、エッチング速度と効率を向上させるように設計されたチャンバー下部にガス噴射ノズルを使用しています。AMAT Endura 5500の砲塔には、ロードロックとガスインジェクションポートが組み合わされており、手動操作と比較して高速で低コストのローディングとアンロードが可能です。このシステムには、再現可能なプロセスサイクルとスループットの向上を可能にする「コイル・ツー・ウェーハ」モードなど、いくつかの異なる動作モードがあります。応用材料Endura 5500は真空の完全性のために設計されている高級な水晶部屋およびふたが装備されています。このチャンバーは、幅広い圧力と温度をカバーしながら、低粒子レベルで高精度の蒸着およびエッチング処理を可能にします。ユニットはまた、ウェーハ製造プロセスのすべての部分を処理するための自動制御モードと手動制御モードの両方を含む強力なプログラマブルコントローラで構築されています。ENDURA 5500はさらに歩留まりを改善するように設計された高度なウェーハ洗浄機も備えています。高速回転する特殊なパワー駆動ブラシを採用し、ウェハ表面の粒子を効率的に除去します。このツールには、安全なウェハクリーニングとバーンインプロセス制御を確実にするために迅速に応答するリアルタイムのパーティクルモニタも含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、最先端の半導体デバイスのサブミクロン精密加工のための非常に信頼性の高いツールです。ハイスループットのシングルウェーハプロセスで高品質のパフォーマンスを提供し、ウェーハの製造作業に経済的な選択肢となります。この資産は、長年にわたり正確かつ正確な動作を保証できる高耐久性、低電力部品で構築されています。
まだレビューはありません