中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #194704 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 194704
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
Sputtering system, 8"
Wafer size: 8" flat (not notch)
Process: AlCu/ TiN/Ti
Configuration:
Chamber 1: AlCu
Chamber 2: TiN
Chamber 3: Ti
Chamber 4: Ti
Chamber 5: cooling chamber
Preheat
Etch
Clamp (not electrostatic chuck)
Robot:
Buffer: AMAT HP, ceramic blade
Transfer: AMAT HP, metal blade
System monitor:
1: stand alone
2: through the wall
3: stand alone
Includes (1) each monitor rack
Load lock:
Narrow body with tilts in/out
No sliding sensor kit
Chamber A:
- Chamber type: Pass through
- Chamber Lid: Metal Lid
- Cooling method: NA
Chamber B:
- Chamber type: Cool down
- Chamber Lid: Metal lid
- Cooling method: By PCW
Chamber D:
- Chamber type: Preclean I
Chamber F:
- Chamber type: Orient/Degas
Chamber 1:
- Chamber type: Standard body
- Chamber process: AlCu, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K SLAVE
- RF Gen/DC power supply2: A, MDX-20K MASTER
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-70086
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 2:
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: TiN
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: : CTI CRYO 8F 2phase
- Source(Lid) type : UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 3:
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: Ti
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 4:
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Includes:
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas
Installed
1993 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500シリーズリアクターは、高度なプラズマエッチングと蒸着のための最先端のツールです。AKT Endura 5500は、コンパクトで使いやすいシステムで、優れた機能性と精度、および所有コストとメンテナンスの低コストを提供するように設計されています。AMAT ENDURA 5500は、幅広いレシピにわたるプロセスの柔軟性と均一性の観点から、エッチングと成膜の両方のための包括的なサービスを提供しています。特許取得済みのUniformity Control Technology、高度なUltra High Plasma、エッチング時間制御などの機能により、プロセスを最適化して優れたパフォーマンスを実現できます。ENDURA 5500はまた、実験室と生産レベルの両方の操作に最適な、優れた安全性と環境機能を備えています。革新的なUltra-Flowプロセス、熱最適化、および動的圧力制御により、基板は高温および腐食性材料への曝露から保護され、一貫した結果が得られます。システムは、その性能と精度をさらに高めるために、その処分でツールの印象的な範囲を持っています。Endura 5500は、アプリケーションに応じて、線形電子ビーム（LEB）エミッタ、マイクロ波源、イオンビーム源などの特殊なプロセスハードウェアを利用することができます。また、最適化されたソース材料、ソース電力、および乱流管理機能を使用して、プロセスの再現性と均一性を最大化することもできます。APPLIED MATERIALS Endura 5500の高性能設計と使いやすさ、幅広い安全機能により、さまざまなプラズマエッチングおよび成膜アプリケーションに最適です。この原子炉は信頼性が高く、エネルギー効率が高いため、所有コストとメンテナンスのコストが低く、一貫した結果が得られます。さらに、AMATの包括的なアフターセールスサポートが付属しており、今後も機器が稼働し続けることを安心してご利用いただけます。
まだレビューはありません