中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #186220 を販売中

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ID: 186220
ウェーハサイズ: 8"
TxZ System, 8" Narrow Body Load Locks CH A Cooldown CH B PT CH C Preclean CH D Preclean CH E/F Orienter Degas CH 1 IMP TI CH 2 TxZ CH 3 TxZ CH 4 IMP TI.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、初期成膜からエッチング、洗浄、修理まで、半導体デバイス製造のあらゆる面で使用するために設計された最先端のチャンバー装置です。AKT Endura 5500は、最先端の成膜およびエッチング装置の1つであり、優れた性能、精度、および制御を重要な製造プロセスに提供します。この原子炉は、絶対的なプロセス制御のために革新的なボイドフリーの囲まれたチャンバーを備えており、生産性を損なうことなく、予測可能なフィルムとデバイスの品質を可能にします。AMAT ENDURA 5500は、組み立て時間を最小限に抑えながら、原子炉の速度、精度、信頼性を向上させる統合されたプレアライナーを採用しています。プリアライナーにより、正確なパラメーター設定も可能になり、ユーザーは特定のプロセス制御要件に合わせてプロセスチャンバーを調整できます。さらに、APPLIED MATERIALS ENDURA 5500には、リアルタイムプロセスコントロールモニターや一連の分析ツールなど、多くの高度なプロセス制御システムが含まれています。リアルタイムプロセスコントロールモニタを使用すると、ユーザーはチャンバーのパフォーマンスをリアルタイムで監視でき、プロセスの完全な洞察を提供します。さらに、チャンバ環境のシフトを補正するプロセスパラメータを自動調整することができ、リアルタイムでプロセスを正確に制御することができます。一連の分析ツールは、チャンバーマッピング、レイヤーマッピング、レシピ分析などの機能を組み合わせており、ユーザーは沈殿物、欠陥、均一性などのプロセスに影響を与える変数をすばやく診断および調整できます。小型でフレキシブルな基板ローディングユニットにより、ウエハ製造に最適です。自動化された基板ローディングマシンは、スループットを向上させ、複数の基板の同時ロードとアンロードを可能にし、より高速なスループットとより一貫したプロセス結果を可能にします。結論として、AMAT Endura 5500は、これまでにないレベルのプロセス制御、精度、信頼性を提供する画期的な蒸着およびエッチング炉です。AKT ENDURA 5500は、独自のボイドフリーチャンバーから高度なプロセス制御システムまで、強力で反復可能なデバイス製造を可能にするために必要な、高度なハードウェア、ソフトウェア、オートメーションソリューションの完全なスイートをエンジニアに提供します。
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