中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHPは、シリコンや誘電膜などの様々な材料の堆積を容易にするように設計された先進的な化学蒸着（CVD）原子炉です。AMAT Endura 5500 VHP原子炉は、AMATとCVD「ドーピング」ガスの組み合わせを使用して、材料の薄膜層を基板に堆積するためにプロセスチャンバーを使用します。このプロセスに続いて、成膜前の急速なアニーリング工程が行われ、堆積膜の品質が向上します。原子炉は、メインチャンバー、上流チャンバー、基板ステージ、ガス噴射装置など、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。超高真空（UHV）システムであるメインチャンバーは、基板ステージを含み、蒸着プロセス中に高い純度を保証します。上流のチャンバーには、インジェクターやガスラインなど、プロセスをサポートするさまざまなガスラインとコンポーネントが含まれています。この原子炉には高精度の制御装置が装備されており、ユーザーは基板の流れを調節し、ガスをドープすることができ、均一で高品質な蒸着を保証します。基質の温度はまた250°から400°Cの調節可能な範囲の間で維持される水晶センサーを使用して精密に制御されます。調整可能な反応室圧力も維持し、プロセスの安定性を最適化します。アプライドマテリアルズEndura 5500 VHP原子炉は、近くに存在するすべての人の安全を確保するための安全機能を備えています。これには、ユニットのすべての部品が正常に動作していることを確認するための機械式ドアインターロック、圧力トランスデューサ、エスケープボタンが含まれます。緊急ガス遮断機と消火ツールも、セキュリティを強化します。この原子炉の動作は非常に効率的であり、ユーザーは高い蒸着速度、優れた精度と再現性、優れた材料品質を達成することができます。高いスループットとフルオートメーション機能により、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりの向上とサイクルタイムの短縮を実現します。さらに、原子炉は信頼性が高く、耐久性があり、メンテナンスが容易です。Endura 5500 VHPは、さまざまな材料や誘電膜の成膜に最適です。高精度の制御、安全機能、効率性、耐久性などの高度な機能により、CVD業界で信頼性が高く効率的な選択肢となっています。