中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9239684 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPは、ハイスループット、精密薄膜蒸着用に設計された最先端の蒸着炉です。AMAT Endura 5500 HPは、多種多様な材料を取り扱うことができ、複合膜の成膜や正確な温度とガス制御を必要とする膜の成膜などの困難なプロセスに対応できるように設計されています。この原子炉は、半導体、誘電体、ケイ化物、窒化物、太陽光発電デバイス用フィルム、光学システム、照明アプリケーション、生物医学インプラントなど、さまざまな材料に最適です。APPLIED MATERIALTS Endura 5500 HPには、RFおよびDC容量結合ソースとマルチゾーン分散サセプターが装備されています。独自のサセプター設計により、コールドゾーンの加熱電位を低下させ、基板全体にわたって制約された温度の不均一性を可能にします。この原子炉は電子放出面積が大きいため、シングルウェーハおよびバッチプロセスで安定した動作が可能です。さらに、特許取得済みのデュアル直接外部ビューポートにより、プロセス制御とモニタリングが向上します。Endura 5500 HPは、直感的で自動化された制御および監視システムを備えており、堆積パラメータを迅速かつ正確に制御できます。EcoPulseおよびVisionテクノロジーは、合理化されたユーザーエクスペリエンスと自動化を提供し、プロセス開始までの時間を短縮します。その間、高度の温度およびガスの流れ制御は精密な沈殿制御を保障します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPは、高信頼性、高効率で、RFマッチングおよび特許取得済みのキャビティ技術を最大限の精度と均一性に活用しています。高い信頼性により、お客様は面倒な学習曲線を培うことなく、既存のシステムを補完し、生産能力を高めることができます。AMAT Endura 5500 HPを選択するお客様は、ダウンタイムを最小限に抑えながら、高い歩留まりと優れたプロセス再現性の恩恵を受けることができます。さらに、アプライドマテリアルズEndura 5500 HPは、エネルギーと材料の消費を最小限に抑えるように設計されています。アクティブチャンバークーラーはヘルムホルツ原理を利用してキャリアガス圧力を低減し、ローフロー設計によりプロセスガスの運搬に必要なエネルギーを最小限に抑えます。また、統合されたウェットクリーンコンポーネントとオンボードメトロロジーを備えており、コストと廃棄物の両方を節約できます。Endura 5500 HPは、優れたプロセス制御と信頼性を要求する大量のプロセスとメーカーに最適です。