中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactorは、半導体エッチツールのAMATフラッグシップラインの最新世代です。AMAT Endura 5500 HP Reactorは、深部サブミクロンIC処理用に設計された高出力、マルチチャンバープラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。5チャンバーツールは、汎用性が高く、1つのプロセスモジュールで複数のデバイス構造を効率的に処理できるように特別に設計されています。APPLIED MATERIALTS Endura 5500 HP Reactorは、高度なマルチレベル金属化、相互接続、局所相互接続、高密度インターコネクトを処理するための前例のない機能を提供します。5チャンバーツールには、複数のガスをさまざまな速度で異なる処理チャンバーに正確に供給するように設計された2ゾーン/垂直にずれたガス供給システムが装備されています。追加のプロセス強化のために、液体配送システムも利用できます。Endura 5500 HP Reactorには、7つの独立して作動するPE-CVDプロセスチャンバーが装備されており、各チャンバーに独立した温度、圧力、流量制御を備えています。デジタル制御システムは、プロセスパラメータの正確なカスタマイズと制御を可能にします。このツールの高出力イオン源は極めて薄いゲート酸化物の処理を可能にし、微細なパターンの高いスループットを優れた制御を可能にします。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactorには、オンラインイオンソース測定、エンドポイントのレシピ確認、データ統合グラフィックスなどの高度なプロセス制御および監視機能が組み込まれています。これらのプロセス機能と湿式洗浄機能により、5500 HPリアクターは複雑な構造を効率的に処理するための理想的なツールとなります。AMAT Endura 5500 HP Reactorは、高度なIC製造の厳しい要求に応えるために設計された強力で包括的なツールです。高度なプロセス能力、高スループット、独立したチャンバー作動により、アプライドマテリアルズEndura 5500 HPリアクターは、複雑なプロセス要件を備えたサブミクロン構造の一貫した信頼性の高い生産に最適です。