中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9017722 を販売中

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ID: 9017722
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPは、半導体ウェーハやその他の基板の高性能な埋め込みおよびドーピングに使用されるイオン注入炉です。この原子炉は、要求の厳しい生産要件に最高の用量、スループット、および精度を提供するように設計されています。AMAT Endura 5500 HPは、さまざまな基板に幅広いダイナミックレンジを備えたイオン注入オプションを提供し、毎回最も効率的で信頼性の高い注入を提供します。この装置には5つの独立したインプラント・チャネルが含まれており、最大5つの同時インプラント、および特定のインプラントのための最大7つの特殊なチャネルが可能です。これにより、インプラントプロセス全体を最適化して最大のパフォーマンスレベルを達成できます。APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPの高出力機能により、迅速なスループットと精密制御用量率で、あらゆるサイズと厚さの基板に対応できます。さらに、低波長チャネルは、不要な不純物がインプラント工程に導入されないことを保証します。このシステムには、インプラント領域の直接的な可視性を提供する高解像度イメージングユニットも含まれています。Endura 5500 HPには、障害を検出し、オペレータに問題を警告する半自動プロセスウィンドウ分析マシンなど、数多くの安全機能が装備されています。さらに、このツールにはインプラントの状態を評価するために使用できる統合されたプロセスウィンドウインジケータが含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPには、AMAT特許取得済みのフローコントロールバルブも装備されており、ガスの流れを正確に制御および監視できます。AMAT Endura 5500 HPは、優れた性能と信頼性を提供するために構築されています。このアセットは、メンテナンス、アップグレード、柔軟性を容易にするように設計されています。また、最適な埋め込み結果とパフォーマンスを保証するように設計された幅広いアプリケーション固有のソフトウェアも付属しています。信頼できる高性能イオン注入炉をお探しのお客様には、APPLIED MATERIALS Endura 5500 HPが理想的な選択肢です。それは極端な速度、精度、および制御を組み合わせて、優れた埋め込み結果と前例のないスループットを可能にします。統合された機能とカスタマイズ可能なソフトウェアにより、この原子炉は利用可能な最高性能のインプラントを生産することができます。
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