中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 300mm Chamber #9125373 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） Endura 300 mm Chamberは、ウェーハなどの基板に薄膜を柔軟かつ精密に成膜することを可能にする、生産クラスの化学蒸着ウェーハ炉です。この革新的な化学蒸着装置は、半導体、LED、マイクロエレクトロメカニカルシステム、およびオプトエレクトロニクス用途向けに設計されています。このシステムにより、結晶薄膜用の低圧、最適な蒸気吸収のための制御温度、および正確なフラックス制御により材料を堆積させることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 300 mmチャンバーには、高精度の真空シールを備えた垂直原子炉室、自動化された精密ガス注入ユニット、および材料供給マニホールドが含まれています。これにより、ウエハ基板全体に均一な薄膜成膜が可能になります。自動ガス噴射装置は、ガス供給流量を正確に制御および調整することにより、正確で再現性のある蒸着を保証します。フィードマニホールドは、フィルム特性の変動を防ぐために、ウェーハ表面面積全体にわたって正確かつ均一なガス分布を可能にします。さらに、基板ヒーターと炉ニクロム加熱素子の両方に独立した温度制御機能を備えているため、正確な温度制御と最適な蒸気吸収が可能です。このチャンバーには、プロセス制御ロードロックが統合されており、蒸着時間の短縮と生産スループットの向上を可能にします。さらに、磁気浮上ベアリングを自己整列させることで、搬送振れを最小限に抑え、精密で均一な膜の蒸着を可能にします。AMAT Endura 300mmチャンバーの全体的な設計は、高品質の薄膜の効率的な堆積に焦点を当てています。この高度なチャンバーは、複雑なパターンと基本的な単層基板の両方を難なく処理できます。従来の蒸着システムよりも高速で信頼性が高く、費用対効果が高いため、ハイスループット生産マスクやニッチ材料の蒸着に最適です。