中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9298227 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、半導体ウェーハの高温拡散および酸化に使用される単一のウェーハ垂直拡散炉（VDF）装置です。AMAT Endura 2は技術、安全性、生産性の革新を取り入れています。それに300mmのウエハを握るように設計されている9"の直径、感受性無しチェーンコンベヤーがあります。それに独立した圧力および温度調整の別の大気を提供する2つの前部ドアがあります。アプライドマテリアルズEndura 2は、高品質のプロセス結果を提供するように設計されています。窒素/蒸気または水素/蒸気の混合物の自動制御をその場で酸化するために行う統合された自動ガス処理システムを備えています。Endura 2には、タッチスクリーンホストコンピュータを備えた強力な組み込みコントローラも含まれています。この組み合わせにより、プロセスエンジニアは複数のレシピを同時に迅速に構成し、効率的に実行することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は安全性と信頼性のために設計されています。高度なオペレータドアインターロック、ドアが開いている場合にユニットを停止するフェイルセーフドアセンサーなど、いくつかの安全機能を備えています。チャンバーには冷蔵冷却装置が装備されており、高速冷却と最小の熱衝撃を実現しています。AMAT Endura 2は非常に生産性が高く、部品ハッチに容易にアクセスできるため、タスク間の迅速な切り替えが可能です。これは、レシピのセットアップ時間を短縮し、サイクルスタートを迅速にするRapidStart技術を持っています。また、DeepTemperature Controlを搭載しており、再現可能なプロセス結果を保証します。この技術により、従来の加熱方法では手が届きにくい基板内の温度・温度勾配をプロセスエンジニアが正確に制御することができます。応用材料Endura 2は汚染を減らすように設計されています。高度なプロセス・ベローとプラズマ洗浄機能を備えており、高い清浄度を維持するのに役立ちます。Endura 2は、外部からの汚染を低減するために、標準的なプリプール充填ポートとドレインポート、およびセカンダリポートを採用しています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、半導体ウェーハの高温拡散と酸化のための高度で信頼性の高いVDFツールです。これは生産的で安全な資産であり、エンジニアは複数のレシピを同時に迅速に構成し効率的に実行することができます。AMAT Endura 2は汚染を低減する機能も備えています。