中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827431 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2
ID: 293827431
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
PVD System, 12" Chambers: (2) DS TTN (2) STD Al (2) Degas (2) PCXT 2006 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、高精度の材料蒸着とドライエッチングのための高度なプラズマプロセス技術を適用する特殊な原子炉です。この原子炉は、特に広範囲にわたる応用可能性があり、最も複雑なナノ構造の製造をサポートする包括的なプロセス機能と性能特性を提供します。AMAT Endura 2リアクターの中核には、優れたプロセス再現性とプリロードされたレシピの精密制御を提供する独自のプラズマ技術があります。この技術は、高精度な金属、酸化物、有機フィルムなどのナノ構造を幅広い特徴サイズの基板に取り付けることができるように設計されています。APPLIED MATERIALTS Endura 2では、幅広いプロセスソリューション機能も提供してい。これには、シングルランでのマルチステップ処理と、原子炉のオプションのウェハキャリア装置によるシーケンシャル処理の両方が含まれます。エッチングにはプラズマアシストエッチングセルを搭載しています。また、粒子解析、逆流温度監視、統合水晶マイクロバランス(QCM)などの高度な診断機能も備えています。原子炉は特別な工学的配慮で建設されている。このユニットは、高度な発煙抽出、カスタム基板搬送ロボットインターフェース、最大4×10-7 mbarの圧力範囲を可能にする真空マシンなど、いくつかの主要コンポーネントで生産に最適化できます。また、大きなチャンバーを備えているため、チャンバー内のスペースを制限することなく、複数のプロセスレシピとレシピを同時に使用できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、安定した信頼性の高い生産環境で優れた工具性能と稼働時間を提供します。これには、追加のプロセス監視技術、統合されたウェーハおよびWebハンドリング機能、洗練されたプリコンディショニングレシピなど、いくつかの革新的な機能が含まれます。これらの機能を組み合わせることで、最高品質のプロセス性能と歩留まりを保証します。AMAT Endura 2は、高度なナノ構造のニーズを満たすために、信頼性の高い高精度の原子炉をお探しのお客様に理想的な選択肢です。これまでにない柔軟性と拡張性を実現するとともに、プリロードされたレシピに対する比類のない再現性と正確な制御を提供するように設計されています。この原子炉は、ナノテクノロジーの分野でエッジを得るために探している任意の製造ラボや研究室のための必須のツールです。
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