中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827408 を販売中
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ID: 293827408
ヴィンテージ: 2015
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Part number / Description
0410-10000 / System, 12"
FAM300E2 / MDP E2 Endura, 12"
0415-10014 / -
0415-10346 / Impulse AIN
0415-10046 / Dual mode degas
0415-10054 / RGA Manual valve
0395-09095 / Infopad pos A or B
0395-09026 / E78 Ionizer
0395-09073 / Upper E84 Data logging sensors and cables
0395-09071 / TIRIS with RF E99 Carrier ID
0395-00114 / Operator access switch
0395-09056 / Remote flat panel monitor on stand
0395-09007 / Effective 75 Feet with 66 Feet
0415-10080 / Umbilical’s 75 Feet Mainframe to equipment rack
TR-STND-22 / Standard training package
WT-12MO / Standard 12-month warranty
0415-10082 / FIF Generic kit
0415-10089 / Lifting aids
0415-10090 / Maintenance lift
0395-09029 / FI Align and levelling tool kit
0395-09039 / Ionizer calibration tools
0395-09055 / Outrigger levelling tools
0395-09031 / FI Service lift
0395-09123 / Load Port Service Tool (7) Salop
0395-09013 / Controller recovery tools
0395-09066 / YAT Teach tools, 12”
0415-10288 / Cons kit - Impulse
0415-10313 / Shutter disk, ESC, Ti, AL Arc spray
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、半導体生産における高度なリソグラフィーおよびパターニング要件向けに設計された、高性能でフルフィールドの蒸着ベースの原子炉です。AMAT Endura 2は、堅牢なアーキテクチャと高度な堆積技術を組み合わせて、半導体の生産における重要な寸法制御要件を満たすための高効率で信頼性の高いシステムを提供します。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） Endura 2は、短波長紫外線（SWUV）源であり、ソース電力を強化し、プロセス精度と再現性を向上させました。Endura 2は、高度な絶縁チャンバーとセンサー技術も備えています。これにより、最適な真空性能、基板温度の均一性、および高いスループットが保証されます。さらに、Atomic Layer Deposition （ALD）やSeed Layer Deposition （SLD）プロセスなどの高度なリソグラフィおよびパターニングプロセスに必要なすべての重要な環境安定性要件を満たすことができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、高度な温度および圧力制御、および優れた生産効率のための強化されたプロセス制御ソフトウェアを備えています。これにより、プロセスパラメータと堆積層の両方を正確に制御できます。AMAT Endura 2はモジュール式システムで、拡張性、アップグレード性、再構成が容易です。これにより、さまざまなタイプの半導体デバイスやコンポーネントの生産が柔軟に行えます。アプライドマテリアルズEndura 2は、大量生産のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。また、高温・高圧での動作が可能で、通常よりも高いスループット率を提供できます。Endura 2は、洗浄と蒸着を自動化した結果、常に汚染を防ぎます。これにより、すべての基板が高品質であり、反復可能で信頼性の高い金属パターン性能が保証されます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS Endura 2は半導体生産の厳しい要件を満たすことができる高度で信頼性の高いシステムです。重要な寸法と温度の均一性の要件を満たすことができ、高いスループットレート、優れたプロセス再現性、およびエレメントの歩留まりをコンパクトなパッケージで提供します。
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