中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293642693 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2は、次世代半導体の3D構造の製造など、幅広い重要な用途に使用するために設計された高性能プラズマエッチング装置です。この汎用性の高い原子炉は、ハイスループットイオン化源技術で構成されており、独自のAPEX™ （Advanced Plasma Extractor）とDuo-ETCH®（デュアルイオンソース機能）を組み合わせて、基板カバレッジと精密エッチングを向上させています。構成可能性の観点から、AMAT Endura 2は、さまざまなプロセスレシピとパラメータに対して最高レベルの柔軟性を提供します。また、高度な10チャンバーロードロックソリューションを提供しており、一度に最大10個のウエハを収容でき、非常に正確な処理が可能です。FASSC®ロードロックテクノロジーは、プロセス全体にわたってウェーハの正確な取り扱い、追跡、および監視を保証します。APPLIED MATERIALTS Endura 2は、エッチング精度、比類のないスループット、重要なプロセス寿命をシンプルから複雑まで、さまざまな基板に提供するように設計されています。APEX™技術とDuo-ETCHR技術を組み合わせることで、すべてのチャンバーで効率的なマルチチャンバー制御とプロセス同期を同時に行うことができます。これにより、多くの手動トレーシングとモニタリングが不要になり、セットアッププロセスとエッチングプロセスがこれまで以上に高速で信頼性が高くなります。システム制御の面では、Endura 2リアクターは、最適化、分析、分析機能の包括的なスイートと統合されています。その監視機能により、エンジニアはエッチングプロセスの開始から終了までを追跡し、無駄を最小限に抑え、歩留まりを改善することができます。パワフルなリアルタイム検査・データ解析機能により、エッチングプロセスを最適化しながら、基板の均一性と精密エッチングを実現します。ロボット支援AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2ドライバキュームロードロックマシンは、繊細なウエハの安全な取り扱いと均一な洗浄を実現します。BVAVS （Backside Vacuum Abrasive Vacuum Tool）による自動クリーニングルーチンにより、手動での積み降ろしが不要となり、作業効率が向上し、汚染リスクが低減されます。AMAT Endura 2の直感的なユーザーインターフェイスと使いやすいソフトウェアインターフェイスは、エッチングレシピをすばやく保存して複製できるようにすることで、セットアッププロセスを合理化します。さらに、APPLIED MATERIALS Endura 2には、高度な自動リモート監視およびデータ収集アセットが搭載されており、ユーザーはモデルのパフォーマンスをリアルタイムで監視することができます。この機器を使用すると、システムの健康状態を正確に把握して、プロセスの異常や異常をリモートでトラブルシューティングできます。また、この原子炉にはトレーサビリティ管理機能が統合されており、ユーザーはプロセスの開始から終了までのエッチング結果を追跡することができます。Endura 2は、要求の厳しいプロセスとアプリケーション要件に合わせて設計された強力な高度なプラズマエッチングユニットです。ハイスループット技術と独自のAPEX™、およびDuo-ETCHR®機能により、複雑な基板を効率的にエッチングできます。また、自動化されたリモート監視およびデータ収集マシンは、正確で信頼性の高いプロセス歩留まりを保証します。