中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9204831 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTNは、次世代の高温デュアルシングルウェーハ化学蒸着（CVD）炉です。このシステムは、高度なプロセスに最適なソリューションを提供する機能と機能を備えた最適な生産性のために構築されています。AMAT Endura 2 DSTTNはユニークなボトム対流設計を採用しており、従来のトップ指向設計よりも均一性の向上とプロセス許容度の向上を実現しています。Endura 2には、2つの独立したプログラマブルなシングルウェーハロードロックが装備されており、もう1つの処理中に1つのカセットをアンロードすることができます。このダブルエンドのロードロックにより、スループットが向上し、効率的な2段階プロセスが可能になります。Endura 2には、チャンバー壁に埋め込まれた電気ヒーターを使用して、蒸着プロセスに必要な熱を正確に供給する「ホットウォール」ファナンスもあります。Endura 2は、高度なウェーハ間の整合性、優れたプラズマ均一性、および強力なプロセス範囲を誇っています。このシステムは高度なプロセス制御を提供し、生産範囲全体で最高レベルの再現性と信頼性を確保します。シリサイドや窒化チタンCVDなどの高温プロセスに特に有効であることが証明されています。Endura 2は、従来の300mmシリコンウェーハから、GaN-on-DiamondやCaF2-on-Diamondなどの新しい最先端ガラスや金属基板まで、幅広い基板に対応できます。独自のデュアルシングルウェーハ設計により、両方のリアクタの半分を個別に制御でき、異なる基板タイプのカスタムプロセスを可能にします。さらに、Endura 2には、パフォーマンスをさらに信頼性の高いものにするいくつかの機能が追加されています。チャンバーの清浄度をさらに高めるために追加のHEPAフィルター付きエアロックを装備し、プロセス条件に自動的にEビームを調整する自動キャリブレーション機能を備えています。Endura 2はモジュラー設計も提供しており、ユーザーは簡単にコンポーネントをアップグレードすることができます。これらの機能はすべて組み合わされ、Endura 2は市場で最も先進的な高温CVD炉の1つになります。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアを備えたEndura 2は、高度な堆積プロセスのための究極のソリューションを提供します。