中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9353157 を販売中

ID: 9353157
ウェーハサイズ: 12"
Dielectric etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、化学および物理プロセスを制御するために設計された特殊な反応封じ込め装置です。これは、反応チャンバー、真空システム、コントロールパネル、不活性ガス圧力ユニット、ガス供給機、および追加のハードウェアなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。反応チャンバーは、環境と反応の間の障壁として機能し、ユーザーが環境と反応パラメータを制御することができます。ステンレス製で、下部に密閉された開口部があり、反応材料を簡単に挿入できます。チャンバーには、反応の持続期間中、一定の温度と圧力を維持するための冷却ツールが装備されています。真空アセットは、反応室に存在する酸素の量を制御するために使用されます。チャンバー内の酸素レベルを低減することにより、ユーザーは酸化および/または副反応のリスクを低減することができます。コントロールパネルを使用すると、必要に応じてガス圧力、温度、およびその他のパラメータを設定および調整できます。不活性ガス圧力モデルは、安全性を向上させ、酸化を低減するために、アルゴンや窒素などの不活性な大気をチャンバーに導入する責任があります。これは可燃性物質を含む反応のために特に重要である。ガス供給装置は、反応室にプロセスガスを正確かつ制御された方法で分配します。さらに、AMAT Enablerには、システムが正しく安全に実行できるようにするために使用される他の多くのハードウェアコンポーネントが含まれています。これらのコンポーネントには、圧力および温度センサ、プレヒーター、サンプル転送ツール、電気接触システム、電源が含まれます。全体として、APPLIED MATERIALS Enablerは信頼性が高く効率的な反応封じ込めユニットです。環境およびプロセスのパラメータを正確に制御することができ、酸化を低減し、危険な反応のリスクを排除することにより、安全性を向上させるのに役立ちます。そのため、産業用、科学用、商業用の様々な用途で使用されることが多い。
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