中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9226622 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、先進的な材料製造の厳格な要件を満たすように設計された革新的な原子炉です。真空チャンバー、基板ヒーター、高出力の電気ユニットで構成されたエピタキシャル蒸着システムで、様々なプロセスレシピをサポートします。AMAT Enablerは、材料製造プロセスのより良い制御を可能にし、スパッタリング、エッチング、クリーニングなどの基板前処理を行うことができます。さらに、化合物半導体材料の増殖や、乾式および湿式プロセスによる複合III-VおよびII-VI化合物フィルムの増殖にも適しています。APPLIED MATERIALTS Enablerには、他の産業用リアクターから際立っているいくつかの注目すべき機能があります。天井高が低く、サイズが小さく、小規模加工に適しています。この原子炉はまた、設置プロセスを大幅に簡素化する統合されたモジュール構造を備えています。さらに、Enablerは非常に信頼性が高く、持続的な生産のために50〜70％の使用率を備えています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、高度な自動温度マッピング技術により、ウェーハ全体で優れたプロセス均一性を発揮します。また、高温環境を+/-0。1°Cの高精度で維持することも可能です。この性能は、複数のセンサとアクチュエータを原子炉に統合し、均一性を維持する統合されたクローズドループ制御システムによって実現されます。最後に、AMAT Enablerの先進的なプロセスレシピは、化合物、酸化物、窒化物、ホウケイ酸などの幅広い材料を利用しています。また、数百オングストロームから数ミリメートルまでの厚さの薄膜を堆積することができます。また、最適化されたジェネレータ回路を使用すると、画層品質を損なうことなくプロセス時間を短縮できます。APPLIED MATERIALS Enablerは、先進的な材料加工のニーズを満たすように設計された革新的な原子炉です。それは優秀な性能を提供し、いろいろな産業適用で使用することができます。