中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9215091 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler
販売された
ID: 9215091
ウェーハサイズ: 12"
Oxide etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、半導体デバイスの製造に高品質の薄膜を提供するように設計された蒸着炉です。この原子炉は、エッチングまたは蒸着アプリケーションで使用することができ、プロセスの汎用性、正確な制御、および最適化された結果に焦点を当てて設計されています。AMAT Enablerは、堆積プロセスのより良い制御を可能にするいくつかのサブシステムを提供しています。これには、二重周波数マイクロ波発電機、正確な温度制御、再循環によるプロセス最適化が含まれます。デュアル周波数ジェネレータを使用すると、フィルム材料またはプロセス工程に応じて、周波数を10MHzと2.45GHzの間で簡単に変更できます。温度制御は、チャンバー壁の均一な加熱を確保するように設計された高度な低騒音ファンによって維持されます。追加の再循環システムはさらにシステムの可能性を高め、プロセスチャンバー全体でより良い温度制御と均一性を提供します。アプライドマテリアルズ(APPLIED MATERIALS)イネーブラリアクターは、幅広い標準成膜材料を提供し、さまざまな薄膜成膜アプリケーションを可能にします。これには、ポリシリコン、ケイ化物、窒化物、ドープされたアモルファスシリコンなどの材料、および他の多くの高性能材料が含まれます。この範囲は、MEMS、 LED、 CMOS、ナノ材料などのさまざまな技術に最適です。イネーブラは、プロセス時間を最小限に抑える連続蒸着法を使用して、非常に効率的です。これにより、より多くのデバイスをより短時間で生産できるため、品質を犠牲にすることなく、より多くの価値を達成することができます。さらに、リアクターはマスフローコントローラなどの多くの周辺機器と統合するように設計されており、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供しています。これによりセットアップが簡素化され、機能を素早くカスタマイズでき、プロセスの変更と市場投入までの時間を短縮できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、高度な薄膜蒸着プロセスのための信頼性と再現性の高い性能と正確な制御を提供します。幅広い材料との最大限の柔軟性と互換性を提供するように設計されており、最新の半導体製造に必要なプロセス性能を提供することができます。そのため、最小限の時間で高品質のデバイスを生産しようとしている人にとっては、貴重で汎用性の高いツールです。
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