中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、半導体および光電子アプリケーション用の薄膜の堆積を容易にするように設計された最先端の高効率リアクタです。この装置は、幅広い堆積化学物質と材料の組み合わせ、高いスループット、高いプロセス再現性を提供します。AMAT EnablerはProgrammable Process Controller （PPC）を通じて優れた柔軟性を提供し、ユーザーは迅速かつ簡単にプロセスパラメータを設定し、リアルタイムで原子炉の動作を監視することができます。アプライドマテリアルズ・イネーブラーの中核には、先進電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源があります。この源は低圧で動作し、他の種類の源よりも高い速度で物質を堆積させることができるエネルギー種の形成を可能にします。放電は、調整可能なmag-jetシステムによって成長面に輸送され、基板全体に均一な粒子フラックスを作成するように設計されています。この単位はまた窒化ケイ素またはガリウムのような困難なフィルムのための調節可能で、高エネルギーゾーンを、作成するのに使用することができます。一貫したプロセス結果を保証するために、Enablerにはプログラマブルガスブレンディングマシンと過圧保護、ならびに自動ガスモーションコントロールが装備されています。これにより、ガスラインの相互汚染とガス摂取の問題を軽減することができます。さらに、このツールは合計3つのプロセスゾーンで設計されています。これらのゾーンは、均一性を最適化するために反転-V構成に配置され、完全な基板サイズにわたって均一な堆積を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、包括的なプロセス診断機能も提供します。原子炉環境を維持し、圧力、温度、流量などのプロセスパラメータを監視することができます。これにより、堆積プロセスの最適化と欠陥の最小化が可能になります。さらに、光学ピロメータを使用して基板全体の側面温度プロファイルを測定し、プロセスを最適化することができます。AMAT Enablerは、高品質の薄膜成膜機能を提供するように設計された、フル機能のユーザーフレンドリーな成膜資産です。その高効率、汎用性、包括的な診断機能を使用して、反復可能で高品質な結果を持つ幅広い材料と組み合わせを堆積することができます。PPCにより、ユーザーは簡単にプロセスパラメータを設定し、原子炉操作を監視し、堆積プロセスを最適化することができます。APPLIED MATERIALS Enablerは、高品質の薄膜半導体およびオプトエレクトロニクスアプリケーションを作成するための貴重なモデルです。