中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093619 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、高度な半導体材料の製造を可能にするように設計された特殊な原子炉です。高温蒸着やエッチングなど、業界で最も要求の厳しい課題に対応するために必要な環境制御、プロセスの柔軟性、およびスループット能力を提供します。AMAT Enablerは、統合ベースチャンバー、材料源と輸送システムを収容する可動ヘッド、およびプロセス制御に必要な主要コンポーネントで構成されています。このチャンバーは、スループットを最大化し、多様なプロセスの制御環境を維持するように設計されています。拡張可能なヘッドにより、チャンバー間のソースを素早く移動させることができ、広域処理にわたって優れた均一性を確保します。チャンバーはまた、高温蒸着とエッチングを可能にします。このシステムは、最高800°Cの温度を達成するように設計されており、高度な材料の高品質の酸化および窒化プロセスを可能にします。また、高温機能により、ダイヤモンドのような炭素（DLC）やその他のナノコンポジットフィルムが基板上に堆積する可能性もあります。アプライドマテリアルズ・イネーブラーは、ウェーハ温度を制御し、高性能デバイスに必要な均一性を確保する先駆的なエネルギー・ハードウェアを備えています。ウェーハは電子爆撃（EB）または高速サイクル誘導加熱システムを使用して加熱されます。どちらのシステムも、温度勾配による不安定な影響を低減するとともに、高速なサーマルサイクルを提供することができます。また、Enablerは高度なプロセス制御ソフトウェアをサポートしており、製造中にチャンバ内のすべての重要なパラメータが必要に応じて監視および調整されるようにしています。このソフトウェアを使用すると、エンジニアは手動で調整することなく、プロセスパラメータを簡単に監視および調整できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、高度な半導体材料を作成するのに役立つ高速で信頼性の高い原子炉です。その統合されたコンポーネント、広範な用途、および優れた制御機能により、半導体メーカーにとって十分に丸みを帯びたソリューションとなります。