中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293753880 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、さまざまな材料を処理するために設計された高度な高温熱炉です。この原子炉は、プラズマ強化CVDまたは化学蒸着炉としても知られ、主に半導体産業で使用されています。プラズマ発生源を収容し、石英壁の配列に囲まれた中央処理室を備えた多室設備です。部屋の壁は一貫して高温を維持し、部屋中の熱の均質な分布を保障するために絶縁されます。このシステムは、マイクロチップまたはウェーハ上の薄膜またはオーバーコート層の堆積を制御するように設計されています。これは、酸素、窒素、ガスドープシリコン、またはこれらの組み合わせを誘導結合プラズマ（ICP）源を介して通過することによって達成されます。ICPソースは、基板表面に向けられた必要なイオン化された粒子またはイオンを生成するように設計されています。これにより、ウェーハ表面とイオン化された粒子との間に反応が生じ、熱が発生して基板上に層フィルムが堆積します。AMAT Enablerは、いくつかの安全機能を念頭に置いて設計されています。単位は企業の標準的な圧力および温度の条件を満たすためにテストされ、1000°C。までピーク温度を扱うことができるように設計されています。また、油圧シャッターと高度な圧力および温度制御機構を備えており、蒸着プロセスの正確な制御と監視を可能にします。このツールは、高い沈着率を提供するように設計されており、シリコン、チタン、タングステンなどの金属や材料の範囲を処理することができます。この原子炉は、その柔軟性とエネルギー効率の特徴のために高く評価されており、半導体の製造およびエンジニアリング用途の範囲の信頼できる選択肢です。