中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293594345 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enablerは、薄膜などの先端材料の製造を可能にする高温高圧化学蒸着(CVD)炉です。AMAT Enablerは、水平および垂直の両方の位置で動作するため、半導体デバイスからマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)までのアプリケーションに最適です。APPLIED MATERIALS Enablerの中心には、反応ガスを導入して化学反応を誘導する密閉反応チャンバーがあります。チャンバーには2つの完全に調整可能なガス入口ラインと2つの調整可能な排気ラインが装備されており、ガスの流れを正確に制御できます。このチャンバーには、圧力計や温度センサーなどの診断機能と安全機能も備えており、安全で正常な動作を保証します。材料加工には、インジェクションリアクタントを使用して基板上に薄膜を堆積させるプロセスであるCVDを使用しています。このプロセスは、優れたステップカバレッジと層均一性を提供し、半導体から金属、酸化物、窒化物まで、幅広い材料と互換性があるため、有利です。AMAT/APPLIED MATERIALSイネーブラの反応チャンバーは、高圧および高温動作用に設計されています。最大動作温度は1200°Cで、圧力範囲は1から大気までです。このチャンバーは、ウェーハ、ダイ、MEMデバイスなど、さまざまな基板に対応できます。AMAT Enablerも高度に設定可能で、加熱されたサセプター、リフトオフ源、電子ビーム(eビーム)蒸発器など、さまざまなソースを利用することができます。この柔軟性により、異なる反応環境や材料での実験が可能になります。APPLIED MATERIALS Enablerは、材料の製造と研究のための高度で強力なツールです。ユーザーフレンドリーな設計、堅牢な構造、カスタマイズ機能により、あらゆるラボや生産施設にとって貴重な資産となります。
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