中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Electraは、効率的な薄膜蒸着システムのファミリーに属する大規模な化学蒸着（CVD）炉です。この汎用性の高い原子炉は、金属、酸化物、窒化物、炭化物などの幅広い材料層を、ガラス、フィルム、セラミックス、ポリマーなどの硬質および柔軟な基板の両方に堆積するように設計されています。AMAT Electraの効率的なパフォーマンスは、自動ウェーハ処理、リアルタイムチューニング、現場プロセス監視などの統合プロセス制御機能によって達成されます。アプライドマテリアルズElectraは、3つの主要コンポーネントを使用して、密閉型ガス流体装置、ターボ分子ポンプ、および低圧真空チャンバーの基板表面に超薄膜を堆積させます。封じられたガスの流れシステムはガス入口および排気の流れの両方のために設計されているガス入口および出口の組合せを含んでいます。このユニットは、エレクトラの反応チャンバへのガスの正確で継続的に制御された供給を提供します。ターボ分子ポンプは、反応室に接続された独立したサブシステムであり、その目的は、CVD処理に適した圧力範囲にチャンバーを避難させることです。最後に、低圧チャンバは独立した絶縁チャンバを含む統合排気装置を備えたアイソレータです。AMAT/APPLIED MATERIALSエレクトラリアクターは、幅広い基板材料に幅広い材料層を堆積することができます。このツールは、フィルムの均一性に優れ、4E-04よりも優れた均一度インデックス（反射高エネルギー電子回折の観点から測定）を提供します。AMAT Electraでは、金属酸化物、窒化膜、多層システムなど、さまざまなフィルムを研究することができます。この原子炉の汎用性は、顧客の要求に基づいてカスタマイズすることができ、異なる表面形態を形成する柔軟性によってさらに強化されます。アプライドマテリアルズ・エレクトラはまた、プロセスの最適化と制御のための幅広い機能を提供しています。リアルタイムチューニング機能により、幅広い条件で成膜プロセスを最適化できます。さらに、現場での監視機能により、オペレータはリアルタイムでレシピパラメータを監視することができ、問題を迅速かつ効率的に診断することができます。自動化されたウェーハ処理は、ダウンタイムを最小限に抑え、スループットを最大化するのにも役立ちます。結論として、Electraは、幅広い基板に超薄膜を堆積する能力を提供する高度なCVD資産です。AMAT/APPLIED MATERIALS Electraの特徴は、幅広いガスの流れやプロセスの最適化など、効率的な蒸着のための連続的な操作と自動化の両方を可能にします。AMAT Electraは、金属酸化物、窒化膜、多層システムなど、さまざまな薄膜アプリケーションに適しており、最も汎用性の高い蒸着システムの1つです。