中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #293665632 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Electra
ID: 293665632
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2000
ECD Cu system, 12" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Electraは、あらゆる種類のデバイスを商業ベースで処理するように設計された最先端の半導体炉です。AMAT Electraリアクターは、工業加工に最適な高度なコンポーネントと機能を多数備えています。APPLIED MATERIALS Electra装置の最初のコンポーネントは、ソースチャンバーです。このチャンバーには、加熱源と反応環境の両方として機能する大量のエネルギー効率の高い低圧プラズマが含まれています。この低圧プラズマは均一な熱分布を提供し、最も繊細なデバイスでも精密かつ一貫した処理を可能にします。ソースチャンバーはまた、不純物の拡散と窒素沈着を最小限に抑えるように設計されており、デバイスがプロセス全体にわたって汚染されないようにしています。Electraシステムの2番目の主要コンポーネントは、耐火ライニングです。このライニングは、高温プロセスからデバイスを保護すると同時に、周辺の他の材料への熱の移動を防ぐ絶縁材を提供するように設計されています。耐火ライニングは、不要な排出からのシールドとしても機能し、原子炉内で発生するプロセスが安全かつ安全であることを保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Electraリアクターに関与する3番目のコンポーネントはカウルです。これは二重の目的に役立つ大きい金属の整理です。まず、デバイスの処理のための安全で定義された環境を作成するように設計されています。第二に、内部の温度が処理される装置の融点より上に残ることを保障するために、それは加熱された部屋として機能します。最後に、AMAT Electraリアクターには、洗練された窒素周囲組成制御ユニットが取り付けられています。この機械は全体のプロセスの間に部屋の中の大気が窒素の適切な部分圧力で維持されることを保障するように設計されています。チャンバーへの窒素ガスのアクセスを提供することにより、このツールは、高耐火層の正確な制御と均一性を可能にし、デバイスが常に最適に処理されることを保証します。要約すると、アプライドマテリアルズ・エレクトラは、あらゆるタイプのデバイスの高精度、安全、効率的な処理のために開発された画期的な半導体炉です。低圧プラズマソースチャンバー、耐火ライニング、窒素周囲組成制御アセットなどの高度な機能は、今日の市場で最高の電気化学的信頼性を得ることができる正確で均一な処理環境を確保するために協力しています。
まだレビューはありません