中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactorは、正確で精密な冶金構造を製造するために特別に設計された高度な金属酸化物プラズマエッチングツールです。AMAT DxZリアクターは、複雑な冶金構造の生産のために、アルミニウム、銅、および他の酸化物などの材料の効率的で高密度のプラズマエッチングを提供するように設計されています。アプライドマテリアルズDxZリアクターは、低圧水素系プラズマに直流（DC）電圧を適用します。DCパワーは、周期的に高周波（HF）と低周波（LF）の波を連結する発振器によって生成され、エッチングのサイズ、形状、密度を調整することができます。HF波とLF波を組み合わせることで、エッチングの均一性が向上し、単一周波数プロセスで実現できるエッチング率が高くなります。DxZリアクターは、フィードバック信号を使用して電力レベルとガス流量を調整し、エッチング材料の制御を改善する高度なプロセス制御システムによって制御されます。フィードバックは、エッチングプロセスの化学的性質に関するリアルタイムのデータを提供し、所望の冶金構造が毎回達成されることを保証するのに役立ちます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALTS DxZ Reactorを自動化して、均一なサンプルに完全に再現可能なエッチングを提供することもできます。AMAT DxZリアクターは、単層または多層スタック、穴あき構造、および微細な特徴を含むさまざまな材料をエッチングすることができ、複雑なパターンや構造の生産を可能にします。APPLIED MATERIALS DxZ Reactorは、エッチング操作に加えて、パッシベーション操作、薄膜成膜、パターン転送も可能です。これらの機能により、DxZリアクターは冶金研究および冶金マイクロストラクチャーの製造にとって貴重なツールとなります。SEMイメージングやEDX分光などの要素固有の教育に適した分析ツールを使用して、X-Yエッチングサンプルを分析することもできます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS DxZリアクターは、複雑な冶金構造の生産のために特別に設計された高度な金属酸化物エッチングツールです。AMAT DxZリアクターは、HF波とLF波を組み合わせて、均一性を向上させた効率的なエッチング速度を実現します。リアクターは高度なプロセス制御システムによって制御され、再現可能なサンプルの自動化も可能です。さらに、APPLIED MATERIALTS DxZ Reactorは、パッシベーション操作、薄膜蒸着、パターン転送を行うことができます。これらの特徴により、DxZリアクターは、複雑な構造の冶金研究と生産のための貴重なツールとなります。