中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CVD Producer #9013333 を販売中
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販売された
ID: 9013333
APPLIED MATERIALS CVD Producer Split tool with (2) twin BPSG chambers, 8"
Wafer size & type : 200mm, jmf ( no smif interface )
Chamber position : ch#a & ch#b
Manometer : 20/1000torr
Rps : mks
Electrical information : 208v, 240a, 60hz
Monitor : stand alone & through the wall
Mainframe information:
Mainframe type : shrinkage
Robot : vhp dual robot
Loadlock cassette : manual 2 cassette
Ozone generator : ax8403
Loadlock pump : ipx100
Gas delivery:
Mfc : unit 8161
Valve : fujikin 5 ra max
Filter : millipore
Transducer : mks w/o display
Regulator : veriflo
Single line drop : yes
Gas line feed : bottom feed
System cabinet exhaust : bottom
Gas pallet ( ch#a & ch#b ):
O2 20slm ufc8161
Nf3 3 slm ufc8161
Ar 5 slm ufc8161
He 20slm ufc8161
N2 20slm ufc8161
Teos 4000 lf-410a-evd
Teb 500 lf-310a-evd
Tepo 250 lf-310a-evd
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CVD Producerは、さまざまな基板上に薄膜を堆積させるために使用される化学蒸着(CVD)反応器の一種です。AMAT CVD Producerは、ハイスループット蒸着装置として、優れた均一性、高速蒸着、精密なレシピ制御、および低コストのオーナーシップを提供します。APPLIED MATERIALS CVD Producerは、真空チャンバー、ガス供給ユニット、および加熱源で構成されるマルチチャンバーシステムです。真空チャンバーは、干渉や汚染の導入なしに薄膜の堆積を可能にする密閉環境であるように設計されています。ガス配達機械には、プロセスガス組成を正確に制御するためのマスフローコントローラとバルブが含まれています。加熱源は、基板に均一な温度を作り出すために使用される高電圧電極とグラファイトサセプターのバンクで構成されています。堆積プロセスは、原子炉室を避難させることから始まります。圧力が所望のレベルに達すると、プロセスガスが導入され、加熱されます。これにより反応が起こり、基板への沈着が起こります。プロセスの流れを調整することで、反応の均一性と速度を制御することができます。ガスとサセプターの動き。さらに、CVD Producerはプロセス最適化を可能にする正確なレシピ制御を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS CVD Producerは、学術研究、バイオテクノロジー、半導体および太陽電池製造、ディスプレイ生産など、さまざまな業界で使用されています。先進的なパッケージングプロセスでパッシベーション層に使用されるシリコン酸化物や窒化ケイ素などの材料や、民生用電子機器でよく使用される「ブラックダイヤモンド」ニトロベースの反射防止コーティングに適しています。さらに、他のアプリケーションには、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、金属などの誘電体の堆積が含まれます、例えば、銅やタングステン。AMAT CVD Producerは、急速な蒸着速度、正確な制御、および高スループット機能により、従来のシステムに代わる費用対効果の高い製品です。また、モジュール式の設計により、シンプルなセットアップと操作が可能で、所有コストも低く、予算の厳しい人には魅力的な選択肢となっています。最終的に、様々な材料との互換性は、高品質の薄膜層を生成するための貴重なツールとなります。
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