中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215 を販売中

AMAT Centura eMaxはウェーハ加工用のチャンバーです。これは、プロセス能力と再現性の広い範囲を提供する信頼性と堅牢な機器です。このチャンバーは、1。0 x 10-6 Torrのベースプレッシャーを備えており、直径8インチまでの広範囲のウェーハに簡単に装着できます。eMaxチャンバーは、ウエハヒーター、トッププレート、エスケープポート、および静電チャックを内蔵したアルミ製ベースプレートで構成されています。電源、温度コントローラ、ウェハローダー、アンローダーはすべて統合システムの一部です。ウェーハヒーターは最大250°Cのウェーハに安定した温度を提供し、幅広いエキゾチックなプロセスを可能にします。eMaxチャンバは、ユニークな静電チャックユニットを使用して、ウェーハ表面に静電力を均一に適用します。これにより、プロセス中にウェーハが確実に所定の位置に保持されることを保証するため、優れたレベルの均一性と再現性を実現します。さらに、この機械には、現場のプロセス環境を正確に制御するための自動ガス供給ツールも含まれています。これにより、チャンバーは必要な温度と圧力で保持され、プロセスに適切なガス混合物が利用可能であることが保証されます。2次元ウェーハのセンタリングアセットにより、ウェーハは加工中に常にセンタリングされ、ウェーハの安定性と最大限の均一性が保証されます。統合された線量コントローラーは速く、正確な線量の測定および制御を提供します。最後に、チャンバーはユーザーフレンドリーで、簡単にメンテナンスできます。高度な監視モデルとユーザーインターフェイスにより、リアルタイムデータを簡単に表示し、必要に応じて是正措置を講じることができます。インターフェースもカスタマイズ可能で、ユーザーの個々のニーズに合わせてカスタマイズできます。APPLIED MATERIALTS Centura eMaxチャンバーは、ウェーハ加工用の信頼性と堅牢性に優れた装置です。幅広い機能、再現性、使いやすさにより、あらゆるアプリケーションに最適なシステムです。