中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura DPS II #293664214 を販売中

AMAT Centura DPS IIは、高いスループットと最大稼働時間をユーザーに提供する高度な高性能シングルウェーハリアクタです。エレクトロニクス業界で使用される高品質のシリコンウェーハの製造に最適です。このマシンは、特許取得済みのデュアルプロセス、シングルウェーハ装置（DPS）技術を備えており、1つの原子炉室でさまざまなプロセス機能を実行できます。これは、シリンドリカルチャンバーの2セットが装備されており、各チャンバーは24までのウェーハを処理することができます。チャンバーは、強力なフリーフローティング、ダブルシール設計を備えており、コンタミネーションと高い迷走磁場を防ぎます。APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、ロードロック、プロセス、パージ、および出口チャンバーという4つの独立したチャンバーで構成されています。Load Lockチャンバは、シリコンウェーハを最初にロードするチャンバーです。このチャンバーには、システムへの汚染を防ぐ抗菌汚染保護技術が装備されています。プロセス部屋は調節可能な力レベルの正確に制御されたRFの暖房装置を収容し、部屋中の均一な基質の温度の最大収穫のために設計されています。このチャンバには、プロセスパラメータを構成および制御するために使用できるオンボードプロセスコントローラも装備されています。Purgeチャンバーは、残りの反応ガスや粒子を安全に除去するように設計されており、プロセスの結果を確実にするのに役立ちます。出口の部屋は機械からのウェーハの安全な取り外しを保障するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIは、高度な診断および監視機能を備えて設計されています。この原子炉には、プロセス制御コンピュータ（PCC）が搭載されています。PCCはリモートモニタリング機能も備えており、ユーザーは世界中のほぼどこからでも原子炉の性能を監視することができます。このツールはまた、資産の最適なパフォーマンスを保証する詳細な診断とアラーム機能を提供します。結論として、AMAT Centura DPS IIは、エレクトロニクス業界向けに高品質のシリコンウェーハを製造するように設計された先進的なシングルウェーハリアクターです。それは4つの独立したチャンバーが装備されており、それぞれが特定の目的のために設計され、高度な診断および監視機能を備えています。最新のプロセス制御技術を使用して設計されており、1つの原子炉室でさまざまなプロセス機能を実行することができます。