中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9377276 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamberは、さまざまな微細加工プロセスを実行するために特別に設計されたプロセス機器ワークセルです。ナノリソグラフィー、ナノマテリアルの成長、デバイスのプロトタイピングなどの大きな用途に使用するために設計された堅牢で高精度な装置です。そのエンジニアリングおよび設計機能により、複雑で長時間のプロセスと高スループットのプロセスの両方に理想的なチャンバーとなります。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamberは、クライオポンプとメカニカルブースターポンプを備えた垂直チャンバーです。特許取得済みのデュアルリング、単方向ICPソース、およびラフからウルトラハイまでの真空動作圧力範囲を備えています。2つのイオン爆撃ポートと2つのファラデーシールドは、チャンバーの上部と下部に配置されています。チャンバーにはウェーハへの容易なアクセスのための取り外し可能な上蓋があり、ベースプレートは上部または下部のいずれかから開くことができます。チャンバー全体は、チャンバーとその外部環境をシール垂直スライドドアで閉じることができます。このチャンバーは非常に構成可能で、サンプルのロードとアンロードのためのさまざまなオプションを提供します。マルチエレメントイオンやマスフローコントローラ、シングルガス貯蔵システムなど、さまざまなガスシステムをサポートできます。さらに、P5000チャンバーには、レーザーアブレーション、急速熱アニーリング、およびその他の高温処理の統合を可能にする「スマート」加熱機を備えた内真空ユニットコントローラ（ISC）が含まれています。P5000チャンバーは、物理蒸着、スパッタリング、CVD、蒸発、エッチング、蒸着、ナノリソグラフィー、粒子注入など、さまざまなプロセスで使用するために設計されています。チャンバーの特徴は、構造と設計に加えて、大量のプロセスに最適な環境を提供します。また、長寿命、信頼性、低メンテナンスコスト、高品質の静水圧軸受ツールを提供しています。AMAT APPLIED MATERIALTS P5000 Chamberは、さまざまな微細加工プロセスで使用するために設計された先進的で高性能なチャンバーです。優れた効率、長寿命、さまざまな構成、およびプロセスパラメータと環境条件の両方を正確に制御する機能を提供します。そのため、高精度な結果を必要とする用途に最適です。