中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634885 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） P5000 Chamberは、幅広い温度範囲で蒸着流体を正確に制御するように設計されたシングルウェーハ、バッチリアクターです。このチャンバーは、粒子の汚染を低減する最先端の設計を備えており、原子炉内の非常に低い均一な温度プロファイルを維持することにより、非均一性を回避します。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamberには、高性能で高温加熱装置が含まれています。この加熱システムは、均一な薄膜セラミック発熱体、高密度セラミック断熱層、および望ましい温度プロファイルを提供する蒸発ガスユニットで構成されています。チャンバーの温度プロファイルの均一性は、発熱体の温度とプロセスガスの量を正確に制御する直流（DC）電源で維持されます。AMAT P5000 Chamberには、プロセスの正確な監視、制御、およびデータロギングを可能にする自動化機能が含まれています。このチャンバーには、ローディングロボットとアンローディングロボット、RFロードロックマシン、自動バルブツール、および処理パラメータの正確な制御と均一性を保証する自動チャンバー圧力コントローラが含まれています。テンプレートベースのコンピュータ制御アセットにより、オペレータはプロセス条件を迅速かつ簡単に設定および監視できます。チャンバーの不活性プラチナチャンバーは、加工時の汚染リスクを最小限に抑えるエアタイトシール付きの頑丈なチャンバードアを備えています。そのステンレス鋼の内壁と床は優れた熱伝達を提供し、プロセスガスまたは蒸着液と化学反応に抵抗します。チャンバーは、蒸着流体用と排ガス用の2つのポートで設計されており、プロセス環境を正確に制御できます。チャンバーの環境モニタリングモデルは、ガス濃度や圧力の変化を迅速かつ正確に監視することを保証します。この装置には複数のセンサーとモニターが含まれており、プロセス環境を正確に制御できます。応用材料P5000部屋はまた不必要な汚染からプロセス環境を保護する高性能の空気ろ過システムを含んでいます。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamberは、様々な用途での精密な蒸着のために設計された高性能のシングルウェーハバッチリアクターです。その最先端の設計は、正確な温度制御、自動化されたプロセス監視および制御、および汚染のないプロセスを保証するための環境モニタリングユニットを提供します。このチャンバーは、高精度の堆積を実現するための優れた選択肢です。