中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL #293660732 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CLは、半導体製造プロセスにおける化学蒸着またはCVDの適用に使用される特別に設計された原子炉です。この高性能チャンバは、チップメーカーが信頼性と耐久性の高い半導体を作成することを可能にする、多種多様なプロセス能力を提供します。この原子炉室は、強力なガス流装置と高度な熱制御システムを備えており、堆積プロセスを最適かつ正確に制御することができます。これらのシステムは、正確な温度および圧力制御、化学的一貫性、および最小限の汚染を可能にします。ステンレス製のチャンバーには、絶縁されたデュアルプレナム設計が採用されているため、送風機の必要はありません。これは圧力を軽減します。AMAT Chamber for Endura CLもマルチゾーンプロセスを使用しており、各プロセスゾーンに適切な環境、供給、および制御プロトコルが適切に装備されていることを保証します。これにより、均一な沈着率と予測可能なプロセスが保証されます。このチャンバーはまた、均質なプレート平行および気体分布を確保するための高度なシャワーヘッド設計と、前駆体の均一な分布のための16断面プラズマアークノズルを備えています。チャンバー全体のサイズは6。8（長さ）×5。2（幅）×6（高さ）フィート、重量は9,500 lb。 In-LineまたはStandaloneの2つの代替構成でサイトに取り付けることができ、複数のポートと診断パネルを介して提供される高度なアクセスを備えた簡単な保守性のために設計されています。Endura CLのための応用材料部屋は排他的なUnder Pressure Enhancedの安全システムとの安全を証明しました。これにより、チャンバーの過圧イベントが動作範囲を離れるのを防ぎ、真空ユニットとチャンバ部品を保護します。Endura CL用チャンバーの全体的な設計は、高収率チップ製造のための貴重なツールになります。その洗練されたデザインと技術は、化学蒸着プロセスのためにそれを打つためのマシンになります。