中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #293663175 を販売中

AMAT Centura Chamberは、薄膜太陽電池、記憶記憶装置、表示技術、太陽電池など、さまざまな用途に使用される化学蒸着（CVD）炉です。チャンバーは、反応チャンバー、ソースチャンバー、パラメータチャンバー、および制御された大気チャンバーで構成されています。反応チャンバーは基板ホルダーを内蔵しており、チャンバーの最大成分です。室温から350°Cまで調節可能な温度範囲の赤外線ランプで加熱します。チャンバは、高いスループットを実現するよう設計されており、チャンバのサイズに応じて、一度に最大800の基板を処理できます。それは沈殿プロセスの表示を可能にするために上部に水晶窓を備えています。ソースチャンバーは、蒸着に必要な反応剤を導入するために使用され、反応チャンバーの下に位置しています。インジェクターを内蔵しており、250°Cまで加熱して反応剤を蒸発させます。加熱されたリアクタント蒸気は、元のチャンバーから反応チャンバーに移動し、そこで基板に堆積します。パラメータチャンバーは、蒸着プロセスを監視および制御するために使用され、室温から250°Cまで温度制御されます。最後に、制御された大気チャンバーは、蒸着プロセス中にチャンバー内の大気を管理し、不活性な大気からアクティブな大気に切り替えることができます。これは、一貫した高品質で再現性のある結果を達成するために重要です。APPLIED MATERIALS Centura Chamberは、薄膜蒸着用途において高性能で再現性に優れた先進的なCVD炉です。汎用性と精度の高い成膜プロセスの両方を提供することにより、チャンバーは世界中のデザイナーのための貴重なツールとなっています。